전기 전자 산업에 있어서의 ESD문제

소개글

전기 전자 산업에 있어서의 ESD문제에 대한 보고서 자료입니다.

목차

정전기 방전이란?

반도체 디바이스의 파괴모델

반도체 디바이스의 손상

반도체 디바이스의 정전기 민감성 부분

반도체 디바이스의 ESD 시험방법

본문내용

ESD (정전기 방전, electrostatic discharge )
정전기의 전기적 작용에 의해 일어나는 전리작용
대전물체에 의한 정전계가 공기의 절연파괴강도(직류인 경우 30[kv/cm])에 도달한 경우에 일어나는 기체의 전리작용
반도체 디바이스의 고집적화, 미세화, 저 동작 전압화에 의한 ESD파괴현상의 증가
정전기 방전의 종류
기중방전(대기 중에서 발생)
-코로나 방전
기체 속 방전의 한 형태이다. 한 쪽이나 양 쪽의 전극이 뾰족한 모양일 때 극 부분의 전기장이 강해져 방전이 일어나는 현상으로, 극 사이의 일부에만 방전이 일어나고 있어서 아크 방전과 구분된다.
-브러쉬 방전
코로나 방전이 보다 진전하여 수지상 발광과 펄스상의 파괴음을 수반하는 방진을 말한다. (가연성가스, 증기, 민감한 분진에서 화재 및 폭발 발생)
-불꽃방전
대전체 또는 접지체의 형태가 비교적 평활하고 그 간격이 작은 경우 그 공간에서 발생하는 강한 발광과 파괴음을 가진 것으로 방전에너지가 커서 장해의 주요 원인이 된다.
연면방전(대전물체의 표면을 따라서 발생)
-공기 중에 놓여진 절연체 표면의 전계 강도가 큰 경우에 고체표면을 따라서 진행하는 방전을 말한다. 방전에너지가 높아서 재해나 장해의 원인이 된다.
부도체의 대전량이 극히 큰 경우
대전된 부도체의 표면 가까이에 접지체가 있는 경우

키워드

정전기 방전,   ESD,   전자산업,   인체모델,   머신모델,   반도체 디바이스,   ESD 파괴 모델,   ESD 시험 방법