Ellipsometer (엘립소미트리) - 타원평광해석

목차

◆ Ellipsometer (타원평광해석)
◆ Ellipsometer의 원리
◆ Ellipsometer의 용도
◆ 출 처

본문내용

든지 제한된 w측정치로부터 많은 변수를 구하고자 할 경우 등에 있어서는 신뢰도가 낮다. 그럼에도 불구하고 그런 방면에 ellipsometry를 적용하는 이유는, 잘만 사용하면 비교적 손쉽게 유용한 정보를 얻을 수 있기 때문이다. 그리고 이런 응용분야에 있어서 그 신뢰도는 사용자가 숙달되거나 또는 다른 측정기술의 도움을 받아 향상시킬 수 있게 된다. 신뢰도가 낮은 영역에 ellipsometry를 이용할 때 어느 정도까지 믿어야 하는지의 판단은 사용자의 능력에 달려있다.
◆ 출 처
박막공학 - 두양사
초고집적 공정기술 - 두양사
실리콘직적회로공정기술
반도체공정개론 - richard C.jaegr저 교보문고
엘립소미트리
반도체공정 및 장치기술 - 이형욱
VLSI FABRICATION PRINCIPLES

키워드

Ellipsometer,   엘립소미트리,   타원평광해석,   Ellipsometer 원리,   Ellipsometer 용도