[실험레포트] TFT 공정

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[실험레포트] TFT 공정에 대한 보고서 자료입니다.

본문내용

것이 힘들었다. 패턴의 치수와 간격들을 잘 맞추어 상판과 하판의 전극이 서로 겹치지 않도록 그리는 것이 중요했다.
포토공정에서는 세정과정이 무엇보다 중요했다고 생각한다. PR Coating을 하는 과정에서 particle이 제거되지 않아 제대로 코팅되지 않았던 부분이 있었기 때문이다.
또한 develop의 시간도 중요하다. 시간이 지연되어 남아있어야 할 PR이 벗겨져서 패턴이 망가지는 경우도 있었으며, 반면 시간을 너무 짧게 해서 벗겨져야 될 PR이 벗겨지지 않고 남아 있기도 했다.
셀 공정에서도 PI Coating시 particle이 들어가지 않도록 주의해야 하며, align mark와 전극을 지울 때에는 active영영이 지워 지지 않도록 주의해야 하지만 막상 실험을 했을 때에는 active영역을 살짝 들어가는 경우도 경험했다.
합착 공정 시에는 상판과 하판의 공통전극을 이어주기 위해서 silver paste를 찍어주게 되는데, 이때 silver paste를 너무 많이 찍게 되면 active영역에 묻거나 다른 전극에도 영향을 주어 동작이 되지 않게 될 수도 있어 주의 하여 실험해야 한다. 이번 합착실험에서 실제로 silver paste를 많이 찍어 동작을 하지 않은 부분이 나타나기도 했다.
셀이 모두 완성 된 후 셀 양면에 편광판을 붙여주는데, 우리 실험에서는 TN N/W mode의 cell을 만들었기 때문에 편광판을 서로 수직이 되게 붙여주어야 한다.
실제 cell에 전압을 인가하여 구동시켰을 때 구동이 잘 되는 것도 있었고 잘 되지 않는 것들도 몇 있었는데, 이들 중 하나가 구동 시 셀에 까만 점이 부분 나타나는 셀들이 있었다. 이것은 액정을 주입했을 때 액정이 제대로 들어가지 못했기 때문에 일어나는 현상이다.
내가 만든 셀들 중에서는 글자 중 한 개가 구동되지 않았는데, silver paste를 너무 많이 찍어 다른 전극에도 영향을 주었던 것 같다. 이러한 경우 말고도 액정의 셀gap이 맞지 않아 액정의 색깔이 얼룩하게 보이 셀들도 있었으며, 액정에 기포가 들어가 있는 경우도 볼 수 있었다.
이번 수업을 통해 이론으로만 알고 있었던 것을 직접해봄으로써 LCD에 대해서 좀 더 가깝게 느껴져 공부를 하는 데에도 도움이 많이 되었으며, lab실에 있으면서 가끔 실험을 하게 될 때, 사소한 것들을 그냥 지나치는 경우도 몇 있었는데 그런 사소한 것들도 수업을 통해서 배우고 지나가는 시간이어서 좋았다.

키워드

TFT 공정,   Auto CAD,   Cell Process