박막재료의 제작과 평가

목차

1. 실험 목적

2. 실험 관련 이론
▒ 스퍼터링
▒ ITO
▒ 면저항 측정기
▒ 분광계
분광계의 사용 용도

4. 실험결과
1) 면저항 측정
2) 투과도 측정

5. 결과에 대한 고찰

1) 면저항 측정
2) 투과도 측정

본문내용

데 첫 번째 아무것도 넣지 않는 상태에서 측정을 하고 두 번째로 기판을 넣은 상태로 측정을 했다. 이는 투과도를 측정하려면 기판이 없을 때의 투과도를 기준으로해서 기판을 끼면 기판이 없을 때의 투과도 대비 기판에 의해 몇 %가 투과되었는지를 알 수 있기 때문에 두 번 측정한다. 그래프에서 각 파장 별로 투과도가 나오지만 우리에게 필요한 것은 가시광선 영역대인 380-780nm의 투과도가 필요하다. 그 평균값인 550nm의 파장에서의 투과도를 보면 84%가 떴는데 이는 실제 ITO박막 투과도인 85-87%에 도달하지 못하였다. 그 이유는 실험과정에서 투과도에 대부분 영향을 미치는 산소를 공급하지 않았기 때문이다. 하지만 산소도 적정량을 공급해야하는데, 산소를 공급함으로써 Oxide gap이 넓어지면서 투과도가 증가하는데, 만약 너무 많다면 다른 것과 결합을 잘하여 자유전자수가 감소하고 이에 mobility와 concentration이 떨어지게 된다.
참고문헌
세미디스플레이 2008.10호 (정석균)
ITO 투명전극재료 (한국과학기술정보연구원)
UV spectrophotometer 란? (네이버 지식인)
http://kin.naver.com/qna/detail.nhn?d1id=11&dirId=1116&docId=53317886&qb=dmlzaWJsZSBzcGVjdHJvcGhvdG9tZXRlciDsm5Drpqw=&enc=utf8§ion=kin&rank=2&search_sort=0&spq=0&sp=1&pid=gVchI35Y7uZsstBKZ6Cssc--337379&sid=TsGUdPMswU4AAHNlSDI

키워드

박막재료,   제작과 평가,   박막,   실험,   투과도,   면저항