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재료 (한국과학기술정보연구원)
UV spectrophotometer 란? (네이버 지식인)
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재료 공학 등 많은 전공들을 필요로 한다. 특히 화학공학전공이 필요한 이유는 무슨 재료를 쓰며 어떤 프로세스를 사용해야 하는지 또한 반도체 제조 공정 중 CVD, Sputtering, Thermal Evaporation, Sol-Gel Spin Coating, Etching 과 같이 화학적 공정이 들어가
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재료가 만들어 졌다는 것을 알 수 있다.
또 보고서를 작성하면서 여러 자료들을 보고 알게된 사실인데 박막 증착시의 실험 조건들, 즉 Base pressure나 타겟의 조성비, 기판과 타겟과의 거리, 증착시의 온도 등에 따라 박막 증착의 결과 가 다르게
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- RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 AlN 박막의 증착 특성 - 한국세라믹기술원 나노IT소재팀 , 한양대학교 신소재공학과
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박막을 아모르퍼스라고 한다. MEB는 갈륨비소등의 초격자 작성에서 자주 쓰이는 말이다.
● CVD법-기상화학 성장법
실리콘 박막을 CVD법으로 만드는 것을 예로 들어 설명해 보기로 한다. 박막으로 만들고 싶은 재료일 실리콘의 화합물인 모노실
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