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로타리 베인 펌프
2) 로타리 피스톤 펌프
3) 로타리 기어펌프
4) 피스톤 펌프
5) 다이아 후렘 펌프
6) 루츠 펌프
7) 수봉식 펌프
8) 터보 분자 펌프
9) 확산펌프
10) 이젝타 펌프
11) 흡착펌프
12) 이온펌프
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저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프
■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프
■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프
■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
• 이온펌프 (ionization pump)
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펌프의 종류
3. 진공펌프의 원리
① 로타리 베인 펌프
② 로타리 피스톤 펌프 ③ 로타리 기어펌프
④ 피스톤 펌프
⑤ 다이아 후렘 펌프
⑥ 루츠 펌프
⑦ 수봉식 펌프
⑧ 터보 분자 펌프
⑨ 확산펌프
⑩ 이젝타 펌프
⑪ 흡착펌프
⑬ 게터
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이온화 게이지는 고장이 나서 직접 만져 보지는 못했지만, 레포트를 쓰면서 그에 대한 자료를 찾게 되었고 그래서 그 작동 원리를 알게 되었다.
진공을 만드는 펌프 또한 여러 가지인 것을 알았고 그 중 로터리 펌프와 오일 확산 펌프에 대해
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PUMP)
*확산 펌프 (DIFFUSION PUMP)
*이젝타펌프 (STEAM EJECTOR/GAS EJECROR)
*흡착 펌프 (ABSORPTION PUMP)
*이 온 펌프 ( ION PUMP)
*게터 펌프 (GETTER PUMP)
*승화펌프 (SUBLIMATION PUMP)
*저온 펌프 (CRYO PUMP)
♡진공 펌프의 원리
1. 로타리 베인 펌프 ( Rotary V
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