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연체-반도체 계면에 모이게 된다. 이를 반전이라고 한다.
(6) 산화막과 기판 사의의 표면상태(surface state), 산화막 내의 전하를 알아보려면 C-V를 측정함으로서 알 수 있다. C-V 측정에 대해서 간단히 논하여 보아라.
커패시터에 대해서 알아보면
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1. Evaporation...hwp
2. Oxidation...pdf 자료입니다....
압축해서 올립니다.. 1. Evaporation...hwp
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Evaporation, ~ Sol-Gel Spin Coating ] 에칭공정 [~ Stepper, ~ RIE (Reactive Ion Etching) ]과 같은 수많은 공정들이 있다. 이 공정은 화학공학자들이 맡아서 하기 때문에 반도체 산업에서의 없어서는 안 될 중요한 역할을 하고 있다고 생각한다.
설계를 하여 반
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산화물, 복합 산화물, 탄화물, 금속 미분체 생성에 쓰임
- 50 ～ 1000Å 입도
2) 기상 합성법(Vapor Phase Preparation Process)
① 기상화학 반응
② 화학적 증착
3) 기상 산화법(Vapor Phase Oxidation Process)
99.9% 이상의 고순도 분말을 얻는다.
4) 기상 분해법(Vapor
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Oxidation)
(3) Aluminum
(4) Electronic Balance
(4) 4-Point Probe(CMT-SERIES)
(5) Stylus (Alpha Step 500)
(6) 광학현미경
박막 증착 장비
박막 분석 장비
Thermal Evaporator
4-Point Probe
Stylus(Alpha Step 500)
4. 실험방법
(1) 전자저울을 이용하여 0.1g, 0.2g의 알루미늄을 준비한다.
(2)
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