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고배율이 된다.)
SE Detector
Collector에 Bias를 걸어서 S.E를 끌어 모으고 Scintillator tip을 통과해서 PMT에서 증폭이 가능하도록 전류로 변환한다. SEM의 원리
SEM (Scannng Electron Microscope)은 Electron beam이 Sample의 표면에 주사하면서 Sample과의 상호
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SEM)
1. 전자총(Electron Gun)
2. 자기렌즈(Condensing&Objective Lens)
3. 진공 챔버(Vaccum Chamber)
4. 시편 홀더(Sample Stage)
5. 검출기(SE Detector)
2) 투과전자현미경(TEM)
다. 원자현미경
✔ 원리
가. 광학현
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ongdong.andong.ac.kr/down/em/2008-1/8.ppt
http://user.dankook.ac.kr/~enerdine/sem.htm
구글 이미지 (1) Gun+filament
1)열전자 방사형 전자총
2)전계 방사형 전자총 (FE E.Gun)
(2) Lens
(3) Detector
(4) 전자가 sample과 충돌하였을 때 일어나는 현상(X-ray, Auger E etc)
Referece
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SEM
Introduction
OM vs SEM
Principle
Instrument
Electron gun
Electromagnetic lens
Sample preparation
Detector
Analysis
Resolution, Depth of field
Imaging mode
Example
EDS, WDS, EBIC, EBSD
XPS
Introduction
Principle
Instrument
X-ray source
Electron energy analyzers
Detector
Sa
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lenses)에 의해서 2nm이하 크기의 spot을 형성한다. 일반적으로 spot의 크기가 작을수록 SEM의 분해능은 증가한다. 각각의 렌즈는 고정되거 나 혹은 여러가지 크기의 aperture를 가지고 있어서 spot size를 줄이거나 구면수차 (spherical aberration)를 감소시
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