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Molding
생성된 master 위에 polyurethane, silicone 같은 elastomer를 부은 후 열, UV 등으로 굳혀 master로부터 떼어내어 최종적으로 일종의 stamp 기능을 하는 mold를 만드는 과정이다.
Fig.1. Overall process of master making and molding using photoresist SU-8 0. 초록
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Molding
a) SV-ξ coating on si wafer b)UV light exposing
c) SV-ξ developing d)PDMS molding
e) peeling from si wafer f)bounding with PDMS
◊ Lab-on-a-chip 제작 방법Ⅱ: Laser Micromaching (computer에 원하는 patter을 넣고 laser로 쏘여서 바로 만들
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실험 결과 및 고찰
Ⅲ. 실리콘 주형의 제작과 분광기의 제작
1. 반응성 이온 식각 공정(RIE;Reactiva Ion Etching Process)
2. UV 몰딩(UV-molding) 공정을 이용한 분광기의 제작
3. 분광기(Spectroscopic component)의 특성 고찰
Ⅳ. 결 론
Ⅴ. 참고 문헌
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