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electronic - 이형수
TFT-LCD Reaserch Center, KyungHee Univ. - 장 진 LTPS 란?
LTPS 의 제조법
ELA Process & 특징
Poly-Si TFT-LCD의 응용
HTPS, LTPS 의 비교 및 특성
LTPS Process comparison
LTPS 관련 기기
LTPS 장점
LTPS의 기술 전망
Application & Product
※ References ※
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하는데 도움이 될 것이다.
SLS 기술은 마스크에 레이저를 쏘아 기판의 a-Si을 Poly-Si으로 만드는 방법이다. 레이저의 집중성 때문에 너무나도 작은 면적에 레이저가 집중되어 불균일한 Poly-Si 층이 형성되기 쉽다. 그러한 문제의 해법으로 레이저
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소자 제작 공정
SOI (Silicon-on–Insulator) 기판준비
보호 산화막 (screen oxide) 증착
채널층 불순물 주입
보호 산화막 제거
건식산화 (dry oxidation)
다결정실리콘 (poly-Si) 게이트 증착
다결정실리콘 (poly-Si) 게이트 이온주입
다결정실리콘 (poly-S
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Poly-Si 10.4" XGA 국내최초 개발
4
구미 LCD 3공장(P3) 준공 및 양산
5
구미 LCD 4공장(P4) 투자결정 및 착공
6
세계최초 20.1" TV용 개발
10
Touch Screen용 14.1" EGIP 개발
11
세계최초 HDTV용 29" Wide 개발
2001.
1
저온 Poly-Si 14.1" 개발
3
세계최초 12.1" 반투과형
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poly-Si TFT-LCD
장 점
소비전력 小 / 가격 小
단 점
공정복잡(a-Si TFT-LCD, 대비 TFT제조가격 高 )
Size
≤ 14″
개발단계
연구개발
적용분야
Note PC
비 고
Flexible TFT-LCD plastic 기판을 사용하여 충격에 매우 강하고 경량.
a-Si TFT-LCD
장 점
공정복잡(a-Si TFT-
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Poly-Si TFT-LCD의 응용‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥·‥‥‥‥‥‥16
a-Si와 LTPS의 비교 및 특성‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥16
(6-1) 비정질 실리콘 TFT LCD
(6-2) 저온 폴리 실리콘 TFT LCD
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LTPS Process
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