흡착제[adsorbent, 吸着劑]에 대하여

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도체 생산공정에서 사용되는 산성가스, 할로겐 가스 및 gaseous hydride가 검지제와 접촉시 검지제의 색깔이 다양하게 변한다. 이러한 성질을 이용하여 dry scrubber canister에 window를 달아 흡착분해제의 파과여부를 알 수 있으며, 독성가스의 유출 확인 등 다양한 용도로 사용할 수 있다.
흡착제 [ 吸着劑, adsorbent ]

키워드

흡착,   흡착제,   활성탄,   다이옥신,   환경,   유기화합물