MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System)

소개글

MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System)에 대한 보고서 자료입니다.

목차

Ⅰ. 서 론

Ⅱ. 본 론
ⅰ. 정 의
ⅱ. MEMS의 역사에 따른 정의의 변화
ⅲ. MEMS 기술의 최신동향과 LSI 고부가가치화
ⅳ. MEMS공정의 과정
ⅴ. MEMS 이용의 예
ⅵ. MEMS 기술 시장의 전망

Ⅲ. 결 론

본문내용

자동차용 뿐 아니라 산업용, 항공 관련 제품 등에도 적용이 확대될 전망이다. 최근에는 가속도 Sensor와 마찬가지로 전자 회로와 Sensor를 하나의 Chip에 집적한 제품도 출시된 바 있다. 이외에도 MEMS를 기반으로 하는 Sensor 중 가장 늦은 화학 Sensor의 경우도 최근 가스 Sensor를 중심으로 개발이 활발하다. 이렇듯 현재 MEMS기술은 여러 Sensor 분야에 성공적으로 적용 되어 새로운 Sensor의 개발은 물론 Sensor의 적용 분야의 확대에도 큰 역할을 하고 있다. 따라서 앞으로 MEMS Sensor는 연구 중심에서 저가격화를 실현하기 위한 기술 개발이 중요 하다. 이를 위해서는 MEMS Sensor와 신호처리 IC를 하나의 Chip에 집적하는 기술 개발과 MEMS공정의 표준화가 중요한 과제로 남아있다.
ⅵ. MEMS 기술시장의 전망
MEMS기술을 짧게 정의 하기는 어려우나 이름(Micro-Electro-Mechanical-System)그 자체 로부터 알 수 있듯이 수 100micron이하의 크기를 갖고(micro), 전기, 전자적인 구동특성을 가지며(electro), 기계적 움직임 또는 성능을 갖는 시스템이라 할 수 있다. 실제로 MEMS의 개념은 기계, 전기, 광학, 열, magnetic, 화학, 생물학적인 기능, 또는 이들의 복합적 기능을 갖는 소자들로 이루어진 초소형 시스템을 통칭한다고 볼 수 있고 잘 발달된 반도체 소자분야의 batch박막공정을 활용하여 적은 제조경비로 동일 품질의 시스템을 대량 생산을 해낼 수 있다는 데에 경제적인 이점이 유발된다고 볼 수 있다. 그러나 지금까지의 MEMS기술은 시스템 측면 에서의 새로운 상품을 개발하기 보다는 macro scale device의 크기를 초 소형화하여 상품화 하려는 “miniaturization"에 초점이 있어 왔었고 시장에서 큰 상업적 성공을 거둔 사례가 적은 실정이다. MEMS기술의 대표적 사례를 들어보면 가속도Sensor, 압력Sensor, DMD Display, Ink Jet Printer Head 가전통적으로 시장의 주류를 이루어 왔고, 최근 RF MEMS기술에 있어서 FBAR, RF Switch가 휴대폰의 큰 시장력에 힘입어 기존 제품을 대체하면서 성장하고 있으며, Bio MEMS에서의 소형 진단기기 및 DNA증폭 및 분석Chip 등의 응용이 늘어나면서 관련시장이 출현, 성장하고 있다.
최근에는 IMU(Inertial Measurement Unit) MEMS 적용 범위가 자동차를 넘어 휴대용 게임기 및 통신기기 등에 Motion을 조절 및 감지하는 소자로 응용이 나타나고 있으며, 휴대통신기기의 위치 추적기능으로 GPS와 더불어 가속도Sensor도 함께 적용 되어지는 추세이다. 이처럼 MEMS기반의 Sensor 및 Actuator의 응용범위는 휴대형 통신기기, 컴퓨터, 진단기기, Display 등에 추가 보조 기능으로 그 크기가 작고 기능이 우수한 MEMSChip의 요구가 늘어나는 상황이기 때문에, 향후 그 시장은 계속적으로 늘어날 것으로 사료 되며, 나노기술과의 접목으로 2010년 이후에는 폭발적으로 증가할 것이다. MEMS기술은 Macro 시스템이 할 수 없는 새로운 기능을 목표로 시스템을 개발하여 상용화 할 수 있다면 기술개발의 최종목표인 상업적 성공도 확보 할 수 있기 때문에 MEMS기술을 가지고 있는 기업체나 연구기관은 끊임없이 새로운 영역을 탐색해야 한다.
Ⅲ. 결 론
Nano / MEMS 기술은 21세기를 맞는 오늘에 있어서 매우 뚜렷한 기술의 새 물결이다. 새 물결은 거스를 수 없는 Trend 이며, 이와 같은 변화 속에 수많은 신기술(emerging technologies) 들이 나오고 있고 나오게 될 것이다.
Nano / MEMS와 같은 신기술(emerging technology)의 개발과 산업화에 있어서 우리는 항상 준비하고 그 기술 습득을 위하여 노력을 해야만 한다. 그렇지 않으면 미래의 시장이나 기술에서 낙오자가 되기 때문이다. 하지만 이러한 신기술이 사장이 되기도 한다. 즉, 신기술의 불확실성
또한 기업체 및 학계에서도 치루어야 할 risk이다. 하지만 역으로 불확실성이 커다란 경제적 이득을 줄 수도 있기 때문에 신기술의 습득과 이를 통한 신제품은 계속 되어 질 것이다. 제조 기술/업에서의 성공은 기존제품의 치열한 레드오션에서의 경쟁이 아니라 Nano / MEMS의 신기술에서 비롯된 블루오션을 누가 먼저 차지하느냐에 있다고 볼 수 있다.

키워드

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