반도체 공정

소개글

반도체 공정에 대한 보고서 자료입니다.

목차

가. 공정 순서
<1> 웨이터(Water) 제작
<2> 설계 및 공정
<3> TEST 및 Package(조립 및 검사)

나. 공정에 대한 설명
<1> 사진공정(Photolithography)
<2> 화학기상 증착( CVD )
<3> 금속화 공정(MENTALIZATION)
<4> 산화공정(Oxidation)
<5> 확산공정(Diffusion)
<6> 이온주입(ION IMPLANTATION)
<7> 건식식각(Dry Etching)
<8> 공정집적(Process Integration)

본문내용

가. 공정 순서
<1> 웨이터(Water) 제작
1. 단결정 성장
고순도로 정제된 실리콘용융액에 SEED결정을 접촉, 회전시키면서 단결정 규소봉(INGOT) 을 성장시킴.
2. 규소봉 절단
성장된 규소 봉을 균일한 두께의

키워드

반도체 공정,   CVD,   공정,   Photolithography