TiO2 박막합성법

소개글

TiO2 박막합성법에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 산화티타늄의 원료 광물

2. 산화티타늄의 특성과 용도

3. 산화티타늄의 제조

Ⅰ. CVD(chemical vapor deposition) Method

Ⅱ. Sputtering Method

Ⅲ. Spray Pyrolysis Method

Ⅳ. Sol-Gel Method

본문내용

이용하여 분무한 다음 furnace(400～800℃) 내로 carrier gas를 공급하여 입자를 제조하는 방법. 제조된 티타니아 입자의 광활성이 매우 낮다고 보고된 바 있음.
Ⅳ. Sol-Gel Method
솔-젤법(Sol-gel method)은 금속 알콕사이드의 가수분해와 축중합 반응에 의하여 금속 산화물을 제조하는 방법. 이러한 솔-젤법은 금속 알콕사이드 용액의 가수분해와 생성된 젤의 소성을 통해 금속 산화물을 제조 할수 있으며 기존의 제조 방법에 비해 meltimg 과정이 필요 없고 저온에서 세라믹을 제조 할 수 있음
- 특징
(1) precursor의 균일한(homogeneous)상태 유지
(2)고순도, 고균질의 제품을 얻을 수 있음
(3) 저온 공정
(4) film등의 여러 형태로 제조 가능

키워드

tio2 합성,   티타늄 광물,   TiO2 박막합성법