26MOCVD_발표

목차

MOCVD란게 뭘까?

MOCVD의 Growth System
- GaAs 성장법
- GaN 성장법

MOCVD의 장점과 단점

MOCVD의 응용분야

본문내용

MOCVD 란?

Metal Organic Chemical Vapor Deposition의 약자로 “금속 유기 증착법”

유기 금속 증기를 열 분해 반응시켜 반도체 기판상에 금속 화합물을 증착 시키는 방법.

유기 금속 증기 – MO source를 이용.

주로 화합물 반도체 제조 시 널리 사용.

질화물 반도체의 성장에 가장 유리한 방법으로 알려져 있으며, 고품위의 결정 성장방법으로 많은 연구결과 도출.

▷ 적용분야 (어디에 쓰는걸까?)

발광소자
- 대형전광판, 색채영상, 그래픽, 표시소자, 교통신호 등

강유전 물질을 이용한
메모리 소자

키워드

무지개,   반사의 법칙,   물방울,   반도체,   나노,   반도체공학,   공대,   반사