[물리화학실험] Scanning Electron Microscopy [SEM] - 예비와 결과 리포트

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본문내용

준 뒤 현미경으로 식각 정도
를 관찰한다.
2. Sample 의 표면에 contamination 제거
를 위해 테이프를 이용해 한층 벗겨낸다.
3. Tip을 SEM에 고정시킨다.
4. Start 버튼을 Click하면 Sample의 이미지
가 Scan 된다.
[결과레포트]
1.실험결과
1) 날파리 날개
배율 x 35 x 500 x 1000
2) 머리카락
배율 x 600 x 1000
2. 고찰 및 토의
날파리 날개와 머리카락의 구조를 SEM을 통해 알아 보았다. SEM 영상은 전자빔이 시료표
면을 조사할 때 발생되는 명암의 차이 때문에 형성된다. 따라서 명암을 결정하는 인자들을 이해하는 것이 매우 중요하다. 명암효과는 2차전자의 발생률 및 시료 표면과 1차 전자빔 사
이의 각 변화에 따른 후방산란 전자의 방충 정도에 따라 결정된다. SEM sample을 준비할 때 Pt 나 Au 등으로 코팅하는 경우가 있는데 코팅을 하는 목적은 Charge-up현상의 방지를 위해서이며, 시료에 전자선이 직접 닿는 것을 방지하고, 열에 대해서는 어느 정도 견디는 힘을 갖게 하는 것이다. 또한 시료의 축소와 팽창을 막고, 2차 전자가 많이 발생하면 밝고 질좋은 상을 얻을 수 있기 때문이다. SEM은 시료표면으로부터의 2차 전자 신호만으로 상
형성이 되는 것이 아니고, 시료 내부의 정보를 가진 전자도 포함되어 있다. 또한 파장이 짧
은 전자선을 이용하였기 때문에 광학 현미경에 비해서 훨씬 높은 배율의 측정이 가능하다.
3. Reference
주사전자현미경(SEM) 개론, 정석균, http://bint.kr/110010974901

키워드

SEM 장비의 원리,   SEM,   탄성산란