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메모리 집적도의 발전
① 칩(chip) 속에 미국의 도로망만큼 복잡한 논리적 패턴이 가능
② 64Mb DRAM(Dynamic Random Access Memory), 256Mb DRAM, 512Mb DRAM
③ 4Gb LPDDR2, 16Gb DRAM: 영자신문 100만 페이지, 영화 20편, MP3 음악 4000곡 저장가능.
④ 8Gb LPDDR4 모바일 DRAM
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② 64Mb DRAM(Dynamic Random Access Memory), 256Mb DRAM, 512Mb DRAM
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회로의 양산에 이용하고 있으며 앞으로 256M(mega), 1G(giga) DRAM(dynamic random access memory)이상의 양산에 적용될 기반 기술로 중요시되고 있다.
리소그래피 기술에서는 해상력을 높이기 위해 우선 광원 파장이 i-line(365㎚), KrF(248㎚)에서 ArF(193㎚), F2(157
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