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논문 1건

[논문] 홀로그래픽 리소그래피 공정을 이용한 분광기 제작
m은 회절광의 차수, 는 빛의 파장, 는 입사각이다. 본 실험에서는 파장 442nm의 He-Cd레이저와 파장 632.8nm의 He_Ne레이저를 사용하여 회절 실험을 진행하였다. 입사각을 두 광원 모두 40°로 고정한 후 제작된 광학 소자에 입사시켜서 나타나는 0차광
홀로그래픽|리소그래피|RIE|분광기|UV molding|UV imprinting|Photoresist|노광, 홀로그래픽 리소그래피 공정을 이용한 분광기 제작,
  • 페이지 26페이지
  • 가격 3,000원
  • 발행일 2010.03.05
  • 파일종류 한글(hwp)
  • 발행기관
  • 저자
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