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논문 1건

[논문] 홀로그래픽 리소그래피 공정을 이용한 분광기 제작
Nano-patterning with Immersion Holographic Lithography Technique" , Yonsei Univ. , 2004 7. Eugene Hecht, OPTICS, Addison-Wesley, 2001, pp.476-479. Ⅰ. 서 론 1. 연구 배경 2. 연구 목적 Ⅱ. 홀로그래픽 리소그래피 시스템을 이용한 나노 패턴 제작 1. 홀로그래픽 리소그
홀로그래픽|리소그래피|RIE|분광기|UV molding|UV imprinting|Photoresist|노광, 홀로그래픽 리소그래피 공정을 이용한 분광기 제작,
  • 페이지 26페이지
  • 가격 3,000원
  • 발행일 2010.03.05
  • 파일종류 한글(hwp)
  • 발행기관
  • 저자
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