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를 인공적으로 생성 실용화하려는 노력은 오래 전부터 꾸준히 추진되어 왔다. 플라즈마는 수 억도의 온도를 갖는 초고온 핵융합에 이용되는 플라즈마로부터 최근의 반도체 공정, 신소재 합성 등에 이용되는 저온 글로우 플라즈마나 아크플라
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본론 - 2. 인공태양(핵융합)을 만들기 위한 조건
(1) 1억 도의 플라즈마
지상에서 태양 내부와 같은 플라즈마를 만들기 위해서는
플라즈마를 1억도 이상으로 가열해야 한다.
(2) 1억 도의 플라즈마를 담을 그릇(용기)
플라즈마가 자기력선에
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리포트 (2004.4)
4. 디스플레이뱅크, http://www.displaybank.com
5. 삼성SDI, http://www.samsungsdi.com
6. 전자신문, http://www.etnews.co.kr 1. PDP 기술 개발 동향
① 고효율 기술동향
② 고화질 PDP 기술 개발
③ 저가격 PDP 기술 개발
④ 친환경 소재 개발
2.
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플라즈마란?
▪ 플라즈마는 고체, 액체, 기체에 이어 이온화된 제4의 신물질
▪ 플라즈마는 우주의 95%를 차지함
▪ 플라즈마는 중성기체, 이온 및 전자의 집합체로 비평형상태로 존재
▪ 플라즈마는 핵융합 발전연구에 활용되
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플라즈마 멸균기 [H2O2]
1) 특성
→ 멸균제로 과산화수소(H2O2)를 사용한다.
( 일반적으로 50% 과산화수소를 이용한다. )
→ 과산화수소를 기화시켜 chamber 내부로 유입해 멸균하는 방식
→ 고온, 고압, 습기에 재질 및 특성이 변할 수 있는 정밀 의료
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반응법
열CVD
1)열 CVD의 장점
2)열 CVD의 단점
3)열 CVD 방식
플라즈마 CVD
대표적인 플라즈마 CVD 특징과 장치
1.고주파 플라즈마 CVD
2.P-CVD 장치의 기본구성
3.낱장 처리식 P-CVD 장치
4.고밀도 플라즈마 CVD
CVD의 응용분야
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플라즈마 강화 사이클릭 증착 방법, 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 2009
신혜라, 박막 트랜지스터의 제조방법 및 상기 방법에 이용되는 식각액 조성물, 동우 화인켐 주식회사, 2008
신수범, 포토리소그래피와 나노임프린트 리소그래피를 결합한
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ing: 간단한 방법이며, 플라즈마 방사선, 전자&이온 폭격(bombardment)등에
의해 시행된다.
Sputtering: 가장 널리 이용된다. plasma와 청소하려는 표면 사이에 전압을 가해
시행한다.
Etching: plasma 내의 원자 혹은 라디칼이 표면과 화학 반응을 일으킨다
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Toroidal 모양의 챔버
초고온의 플라즈마
-100,000,000K 온도
플라즈마를 가두기 위한 강한 자기장
-약 5 Tesla(1Tesla=10,000Gauss)
-초전도체의 자석(액체 He 온도 ~ 4K) - 핵융합의 필요성&이점
- 태양-인공태양
- 원자력&핵융합 & 핵분열
- 핵융
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플라즈마-원자 방출 분광기라 한다.
≪ 사 진 ≫
☐ 시료를 고주파유도코일에 의해 형성된 플라즈마에 도입해 방출하는 발광선 및 발광강도를 측정하여 원소의 정성 및 정량분석에 이용하는 방법이다.
≪ 사 진 ≫
2. ICP-AE
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