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반응성 이온 식각공정을 위한 패턴 형상, 즉, 최저면에서 실리콘 웨이퍼의 면이 드러나고, 최저면과 최고면의 대조비가 큰 형상을 얻기 위한 공정 조건을 최적화 하는 실험을 진행하였다. 노광시간과 감광제 도포 조건에 대한 패턴 형상의 특
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실험의 한계(사람을 상대로 실험하는데 많은 제한이 있음) 때문에 발전 속도가 더디다. 그리하여 동물 실험에 대부분을 의존할 수 밖에 없다. 분명 사람과 실험용 쥐는 다른 개체이며, 많은 실험용 쥐를 사용하여 얻은 결론을 바로 사람에게
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할로겐화 탄화수소계 냉매) 11
Ⅲ. 천연냉매 18
3-1 암모니아(R717) 18
3-2 이산화탄소(R744) 20
3-3 아황산가스(R764) 21
3-4 염화메틸(R40) 22
3-5 염화에틸(R160) 23
Ⅳ. 국내외 냉매 개발 현황 25
4-1 대체기술 및 물질 25
4-2 국내 냉매 개발
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실험조건은 촉매를 충진시켰을 때와 동일하게 하였으며, 벤젠의 농도는 2,000ppm, 반응온도는 200～600℃의 범위로 하여 반응성을 확인하였다. Blank test 결과는 Fig. 7에 나타내었는데 400℃까지는 전혀 전환율이 나타나지 않았으나, 500℃에서 4%, 600
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