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SiO2 사이에 1-5nm까지 1nm 차이로 증착하여 소자를 제작하고, 소자의 전기적 특성을 측정했습니다. 측정 결과 XX이 너무 얇으면 adhesion 문제가 해결이 되지 않았고, 너무 두꺼우면 오히려 저항이 커져 전기적 특성이 반응속도가 떨어졌습니다. 이
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Sio2/Si3N4) :2대, Sputter(Au,Cu,Cr,Al): 2대, Spin track(2대_Sub)
-. Wet Station(KOH,Al Etch,유기/무기/산) : 10대
-. Chip Bonder(1대) , Flip-Chip Bonder(2대) , Laser(2대)
-. Plating(Au,Cu,Ti) : 4대_Sub , Dicing saw (2대_Sub)
4) LED PKG 관련
-. Die Bonder(ASM 社) : 20대 , Wire Bonder (ASM
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