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성장온도로 인한 석영도가니 침식
• 산소가 단결정에 함께 존재함
• 불순물이 상대적으로 많은편 단결정 실리콘 성장기술
단결정 실리콘 제조 방법 - 인상법
- 장단점
- 한계
- 부상 도가니 Czochralski
- 액상 방지
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단결정의 새로운 성장기술 개발, 신건철, 한국과학재단
· 광학결정, 마야자와 신타로
· 전자부품연구원 전자정보센터 2005.9월 자료
· ㈜애드밸류 2005.9 보고서. 1. Wafer Preparation
2. Czochralski growth Method & Floating Zone growth Method
3. Cz grower(pul
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기술 및 노하우 축적에 많은 성과를 올리고 있어 300㎜장비 상용화 시점을 크게 앞당길 것으로 기대되고 있다. 반도체의 제조과정 및 제조기술
1. 반도체소자의 제조과정
1). 단결정성장
2). 규소봉절단
3). 웨이퍼 표면연마
4). 회로설
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기술이 발전하고 있다. 반도체소자의 제조공정
1. 단결정성장
2. 규소봉절단
3. 웨이퍼 표면연마
4. 회로설계
5. 마스크(Mask)제작
6. 산화(Oxidation)공정
7. 감광액 도포(Photo Resist Coating)
8. 노광(Exposure)공
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실리콘을 고주파 전압을 인가한 코일로 띠 모양으로 용융시킨다.
이 때 용액부분에 작은 종결정을 접촉시키고, 코일을 상하로 이동시켜 봉 전체를 단결정으로 만든다.
참고문헌
- 반도체소자공정기술
저 자 : Michaelquirk, Juliam serda원재
출판사
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실리콘집적회로 공정기술, 대영사, 1997, pp.149
6.반도체 산업 및 반도체 재료 산업의 실태와 전망, 데이콤 산업연구소,1998,pp.117 실리콘 단결정(single crystal)
- 초크랄스키법(CZ법)
- 플롯존법(Float Zone Method, FZ)
* 그 외의 결정 성장법
반도
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단결정 실리콘(Si) 반도체
2) 다결정 실리콘 반도체
3) 비정질 실리콘(Si) 반도체
4) 화합물(compound) 반도체
5) 유무기 혼합 또는 순수 유기 태양전지
5. 태양전지의 특성
1) 단락전류(short circuit current, Isc)
2) 개방전압 (open circuit voltage, Voc)
3) 직
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기술을 확보하였다. Sanyo HIT 태양전지는 0.2mm 두께, n-형 단결정 실리콘 기판에 진성의 수소화 비정질 실리콘 층과 투명전도막을 이용한다. 두 번째 상용으로 초고효율 태양전지를 양산하고 있는 회사는 BP-Solar사로 125mm×125mm크기에서 레이저 스
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성장률을 나타내면서 전문가들도 향후 실리콘 태양전지 시장은 물론 전체 태양전지 시장의 지속적인 성장을 내다보고 있다.
전 세계 태양전지 시장을 주도하고 있는 결정질 실리콘 태양전지의 기술개발은 보다 저렴한 재료를 이용하고 공정
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실리콘 태양전지
4.2. III-V족 화합물 반도체 태양전지
4.2.1 III-V족 화합물 반도체 태양전지 특징
4.2.2 III-V족 화합물 태양전지 개발 현황
4.3 그 외의 태양전지
5. 태양전지 기술 동향 및 전망
5.1
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