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리소그래피
전통적인 리소그래피 : 광학 리소그래의 한 종류이며, 자외선을 광
원으로 이용하는 리소그래피 전통적인 리소그래피
전통적인 리소그래피 – 트랜지스터
식각의 의미
식각의 종류
- 습식 식각
- 건식 식
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리소그래피공정
포토레지스트(photoresist) 패턴을 마스크로 하여 포토레지스트로 덮여 있지 않은 부분을 선택적으로 제거 1. 기술소개
-이방성
-등방성
1.2 습식 에칭 장치에 요구되는 성능과 문제점
2. 화학과의 연계성
2.1. SiC
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크기가 작아질수록 이러한 왜곡 현상은 점점 심해지게 된다. 노광공정 및 식각공정
❖ 전통적인 리소그래피
❖ 전통적인 리소그래피 – 트랜지스터
❖ 식각의 의미
❖ 식각의 종류
- 습식 식각
- 건식 식각
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리소그래피 공정\'으로 부르기도 한다. 네 번째, 식각공정은 회로 외의 불필요한 부분을 선택적으로 없애 주는 과정이다. 이때 회로 패턴을 만드는데, 습식 식각 혹은 건식 식각 방식을 쓴다. 다섯 번째, 증착 · 이온주입 공정이다. 증착은 웨
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감광막을 기판으로부터 부풀어 오르게 하고 점착력을 약화시킴
건식과정은 산소 플라즈마 시스켐 안에서 감광제를 산화시켜 제거
- 습식 스트리밍
유기물 스트리퍼, 수성아민, 용제 스트리퍼
- 건식 스트리밍
플라즈마 스트리퍼 없음
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