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개략도
Mask의 PATTERN AFTER EXPOSURE
얼마나 정교한 Pattern으로 이루어져 있는지에 따라 나중에 생길 pattern의 균일성이 결정된다. 우리는 조교가 준비한 Mask로 실험을 하였다.
Spin Coating로 인해 박막 박막 결정 요소
일반적
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electronic - 이형수
TFT-LCD Reaserch Center, KyungHee Univ. - 장 진 LTPS 란?
LTPS 의 제조법
ELA Process & 특징
Poly-Si TFT-LCD의 응용
HTPS, LTPS 의 비교 및 특성
LTPS Process comparison
LTPS 관련 기기
LTPS 장점
LTPS의 기술 전망
Application & Product
※ References ※
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기판 │ ○5 Spacer │ ○9 ITO 하
│ ○2 Back Matrix │ ○6 액정 Cell │ ○10 Data Line
│ ○3 Color Filter │ ○7 Sealant │ ○11 Gate Line
│ ○4 ITO 상 │ ○8 Conductor │ ○12 TFT-array
└───────────
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유리를 사용
■ 300 ~ 500℃의 공정온도를 유지 Hazard of TFT-LCD Manufacturing Process
■ TFT-LCD(Thin Film Transistor LCD)
■ LC(Liquid Crystal)
■ Manufacturing Process
∎ TFT Process
∎ Cell Process
∎ Module Process
■ Hazards
■ MSDS & NFPA 704 M Code
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장축의 평행 방향과 수직 방향에 따라 다름.
≪ 사 진 ≫ ▆ TFT-LCD(Thin Film Transistor LCD)
▆ LC(Liquid Crystal)
▆ Manufacturing Process
▪ TFT Process
▪ Cell Process
▪ Module Process
▆ Hazards
▆ MSDS & NFPA 704 M Code
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