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◎ 한규희, 디지털전자회로, 크라운 출판사
◎ H. E. West, CMOS VLSI 설계의 원리 Ⅰ. MOS의 원리
Ⅱ. MOS의 제조공정
Ⅲ. CMOS의 원리
Ⅳ. CMOS의 인터페이스
1. CMOS와 TTL의 interface
2. TTL과 CMOS의 interface
Ⅴ. 논리계열의 특징
참고문헌
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1. 머리말
2. CCD와 CMOS의 정의
3. CCD카메라와 CMOS카메라의 특성
4. CCD와 CMOS와 MAICOVEICON의 비교분석
5. CCD와 CMOS 제품
6. 관련기사
7. 맺음말
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CMOS 이미지 센서 설계, 대한전자공학회
* 이재영(1993), 제너 다이오드의 불량 유형과 그 원인에 관한 고찰, 고려대학교
* 조재철 외 2명(1996), FED(Field Emission Display)의 기술개발동향, 한국전기전자재료학회
* 최주호(2001), 방범용 감지기의 종류 및
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CMOS 공정기술의 정의
CMOS는 Complementary Metal Oxide Semiconductor의 약어이며,
상보형 금속 산화 반도체라는 뜻으로 양의 전압과 음의 전압으로 각각
작동하는 두 가지 종류의 MOSFET 소자를 동시에 만들어 이들이 상호
보완적으로 동작하도록 배
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사용(기존의 CMOS공정과 호환)
①사파이어 or SiO2 같은 절연체 위에 약하게 도핑된 n형 실리콘 박막 결정 성장
②박막 위에 게이트 산화막 성장시키고 PR도포 후 능동 마스크 사용 능동영역 정의, 산화막 에칭
③n-섬 자리에 PR마스킹 p형 도펀트
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