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rect=Log&logNo=10096589628
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-글로방전 [─放電, glow discharge ] | 네이버 백과사전 1. CVD (Chemical Vapor Deposition)
2. Sputtering
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여 투명한 모재를 얻는 VAD(Vapor-phase Axial Deposition) 법이나 OVD(Outside Vapor-phase Deposition)법 그리고 석영관속에 도펀트를 포함한 원료가스를 산소가스와 함께 주입하여 투명한 모재를 얻는 MCVD(Modified Chemical Vapor Deposition)법 등이 등장하였으며, 초고
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가스와 충동시켜 가스분자를 해리시킴으로써 반응기나 이온을 생성하는 플라즈마를 이용하여 원료가스를 화학적으로 활성화한 반응을 촉진시킴으로써 막을 퇴적하는 방식이다.
태양 전지의 이용분야
응용분야
제품 · 이용기기
주택기기
정
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터보 분자 펌프
9) 확산펌프
10) 이젝타 펌프
11) 흡착펌프
12) 이온펌프
13) 게터펌프
14) 승화펌프
15) 저온 냉각 펌프
● PVD(Physical Vapor Deposition)
1. 코팅방법
● CVD(Chemical Vapor Deposition)
• CVD와 PVD의 장단점
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정의
2. CVD (화학 기상 증착법, Chemical Vapor Deposition)
- 원 리 -
- 특 징 -
1) 장 점
2) 단 점
2. PVD(물리증착법. Physical Vapor Deposition)
1) PVD(Physical Vapor Deposition)
1) 이온 플레이팅(lon Plating)
2) 스퍼터링(Spputtering)
o 정리 및 비교
3. 활용분야
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