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현상이 제대로 되지 않았을 수도 있다는 우려도 생겼습니다.
수작업으로 현상액을 만들다보니 현상액의 농도 조절이 쉽지 않아 적절한 농도를 맞추는 게 쉽지 않아보입니다.
소감
PR코팅을 벗겨내는 현상과정이 끝난 이후, 실제로 동판 위의
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PR코팅층이 손실되는 것을 막는다.
7단계 : 'hard baking'을 한 실리콘 웨이퍼를 'BOE용액'으로 4분30초동안 'etching'시켜준다.
①'hard baking'을 한 실리콘 웨이퍼를 'BOE용액'에 4분30초동안 담가둔다.
'BOE용액'은 불산과 NH4을 1:6의 비율로 섞은 용액이다.
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PR을 사용하여 코팅하는 공정이 필름을 사용하여 Lamination하는 공정으로 바뀐것이 다르다. 이 기술은 안료분산법의 PR코팅 공정이 느리고 이 공정에서 불량이 많이 발생하는데에 착안을 하여 개발한 기술로서, 생산성이 높은 것이 장점이나 Lami
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토리소그래피 과정에서 자주 행하는 공정인데, 크게 PR코팅 후의 소프트 베이킹, 노광 후의 post exposure baking, 현상 후의 하드 베이킹이 있다.
3.결론
지금까지 살펴본 포토리소그래피는 기계부품과 전자부품의 케미칼 에칭가공, 프린트기판 제
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토리소그래피 과정에서 자주 행하는 공정인데, 크게 PR코팅 후의 소프트 베이킹, 노광 후의 post exposure baking, 현상 후의 하드 베이킹이 있다.
3.결론
지금까지 살펴본 포토리소그래피는 기계부품과 전자부품의 케미칼 에칭가공, 프린트기판 제
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