진공 펌프

소개글

진공 펌프에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1.기름 회전 펌프

2.기름 확산 펌프

3.흡착 펌프

4.터보 분자 펌프

5.이온펌프

6.게터펌프

7.크라이오펌프

본문내용

액체 헬륨온도 에서는 헬륨이외의 모든 가스가 응축된다.즉 펌프가 되는 것이다.
일반적으로 크라이오 펌프에서는 차콜이라 불리는 활성 탄을 덧붙이고 있다. 크라이오 펌프에서는 액체헬륨 혹은 약간 온도가 높은 헬륨가스 로 냉각하고 있으며 헬륨이외의 모든 가스를 응축 할 수 잇다. 액체 헬륨 크라이오 펌프에서는 냉각 면을 확 보 하기 위해 액체헬륨을 저장해 두는 방식과 액체 헬륨을 순환시키는 방식이 있는데 어느 것이나 4.2K 이며, 이러한 것들은 연구에 사용되는 정도이고 일반적이지는 않다 .
크라이오 펌프 자체는 초고진공의 성능 을 갖고 있기 때문에, 메탈 실 (metal seal)로 하여 초고진공의 성능을 갖고 있기 때문에, 장시간 사용 후에는 냉각면의 온도를 올려 응축 가스를 제거하는 재 활성화가 필요하다.

키워드

진공 펌프,   로터리 펌프,   기름 확산,   흡착,   이온펌프,   터보 분자