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[박막공학] CVD (Chemical Vapor Deposition )란 무엇인가?
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소개글

[박막공학] CVD (Chemical Vapor Deposition )란 무엇인가?에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1.서론

2.반응유형, Precursors

3.관련 기초분야: 열역학, Kinetics, Dynamics

4.Modified CVD

본문내용

1. CVD (cheical vapor deposition):
gas 상태의 화학성분(chemical constituents)들이 높은 온도의 기판 위에서 반응하여, 기판 위에 (비휘발성) 고상을 생성하는 재료합성공정.
2. 응용 분야:
- thin film, coating 제조
- solid state electronic devices 제조
- ball bearing, cutting tool coating
- engine 내부 coating
- MOS 제조

키워드

박막공학,   cvd,   CVD,   PECVD,   재료합성,   LPCVD,   cvd장치

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  • 페이지수77페이지
  • 등록일2005.10.31
  • 저작시기2005.10
  • 파일형식파워포인트(ppt)
  • 자료번호#317948
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