박막 공정 설계

목차

박막 공정 설계

1)설계도

2)증착 방법(증발법)

3)설계된 장비 (펌프, 챔버, 게이지, 증착 소스)

4)박막두께 측정

5)총 가격

본문내용

증발법
열 증착법은 간단한 공정을 통하여 박막을 얻을 수 있다는 장점이 있다. 보통의 경우 10-6Torr정도의 고진공 하에서 고체의 증발원을 가열하여 기화시켜 기판 위에 기화한 원자 또는 분자를 축적하여 박막을 형성하는 방법이다.
이는 고온으로 물질을 가열하여 증기화된 물질의 평균 자유 거리를 고진공으로 증가시켜 기판위에 박막을 형성하는 방법으로 고진공 하에서 증착하므로 불순물에 의한 영향을 줄일 수 있으며 막의 미세 결함을 줄일 수 있다. 이러한 특징으로 인하여 전기적 특성이 뛰어나다.

키워드

박막 공정,   증착 소스,   설계