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실험이론요약 부분
- 박막광학 (황보창권 저, 2008, 테크 미디어) : 결과토의, Megnetron Sputtering
- 개날라리 연구원 : 연구과제 자료조사
(http://marriott.tistory.com)
- 고체물리학 입문 (김일원, 진병문 공역, 2003, 두양사) 1. 실험이론요약
2. 실험 결
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의한 민간건축물이 건축공사비의 1% 또는 총에너지 사용량의 1% 이상을 신재생에너지가 되도록 투자할 경우 용적률 인센티브 부여
2009년까지 월드컵 공원에 ‘에너지제로 하우스’ 건립
2010년 서울시 신청사에 BIPV 도입
친환경 혁신도시 계
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박막 증착법의 원리에 따른 구분
2. 스퍼터링 방법 종류와 그에 대한 설명 및 비교
3. 박막의 특성평가 방법들의 종류와 그 원리 및 얻게 되는 정보
4. 입혀진 박막의 접착력 평가(ASTM D3359-87방법에 의한)와 접착력 향상의 방법 논의
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피하고 있다.
3. 결론
기판에 증착된 박막의 두께는 0.34 이었다.
4. 참고문헌
‘현대물리학’ A.Beiser저, 정원모 번역.
‘고체전자공학’, Streetman, Ben G, 喜重堂, 1991.
전자재료실험 매뉴얼. 목적
이론
실험방법
결과및토론
결론
참고문헌
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증착속도(10-9m/s)
1.67-1250
0.50-833
0.17-16.7
실험방법
1. 크롬 증착 (DC 스퍼터링을 사용하여 10㎛증착한다.)
382V, 0.13Am 사용.
증착 시간 : 1분
W.P : 1.9×10
B.P : 1.8×10
F.G(아르곤) : 40 ACCM
2. TiO2 증착 (RF 스퍼터링을 이용하여 100㎛증착한다.)
가해준 전압 : 90
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물리 및 진공기술, 한양대학교 출판부
정석민·이진원·박종윤(2001) : 진공과학입문, 청문각 Ⅰ. 진공기술의 응용
Ⅱ. 진공펌프의 분류
1. Positive displacement 펌프
1) 로터리 펌프(rotary vane pump)
2) 루츠 펌프(Roots pump)
3) 오일 확산 펌프(Oil dif
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증착 속도가 느려 CVD 보다 비경제적이다.
■ 참고문헌
http://palgong.knu.ac.kr/~cvdlab/lecture.htm
http://igreenwe.hihome.com/old/vacu.htm
http://www.hanvacuum.co.kr/frame1.htm
http://www.e-cerakorea.co.kr/tech.htm
http://www.postech.ac.kr/ce/lamp/main.html 1. 토리첼리의 실험
2. 진
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2-1.박막제작방법
2-2. 물리적 증착법 (PVD, Physical Vapor Deposition)
2-3.진공 증착법(Vacuum Evaporation)
2-4. 피복층 조직
2-5. 진공 증착법의 특징
2-6. 적용 범위 및 응용
3.실험장치 및 시약
4. 실험방법
4. 분석
5. 결과 및 토의
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연구개발에 중점 두고 높은 효율의 태양전지를 개발하고 대량생간에 의한 경제성을 확보하는 데 집중 해야 한다. 1.주제
2.태양전지용 si wafer 선정이유
3.원리와 종류 특성
4.태양전지용 기판 si wafer 제조 공정
5.교과목 관련내용
6.결론
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sputtering)
4.4.4. 이온빔 스퍼트링(Ion Beam Sputtering)
4.4.5. Bias Sputtering
4.5. 이온도금
4.6. 이온 빔 증착
5. CVD(Chemical Vapor Deposition)
5.1. LPCVD
5.2. PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
5.3. APCVD
6. 분자빔 결정법(MBE)
7. 박막 증착의 예
7.
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