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Layers)
13.4 간단한 CVD 시스템의 고찰(Evaluation of the Simple CVD System)
13.5 유전체의 대기중 CVD(Atmospherric CVD of Dielectrics)
13.6 열벽 체계에서 유전체와 반도체의 저압 CVD공정(Low-Pressure CVD of Dielectrics and Semion dictors in Hot wall Systems)
13.8 금속 CVD(
요약
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물리, 화학적인 변화를 유도함으로써 다음 공정인 동 도금의 밀착력을 향상 시키는 기술로서 기존의 약품( KMnO₄)을 사용하는 습식 Desmear의 문제점(공해/원가상승)을 해결한 최첨단 기술이다.
플라즈마 표면 개질
대기압 플라즈마의 원리
양
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Raman Spectroscopy
15 분광측정과 상형성
16 전자 마이크로 프로브 분석과 주사 전자 현미경(SEM)
17 1X-ray 형광 분광계와 X-ray 회절
18 X-ray Imaging 기술
19 그 밖의 물리학적인 기술과 화학적인 기술
20 요약 : 일부 전망의 혁신적인 경향
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실험 방법
Preparation of sample solutions
① 0.05 M Na2HPO4 solution을 이용하여 1 mg/ml의 uranine을 녹인다.
② 10 ㎍/ml uranine 용액 (①의 용액을 1/100으로 희석시킨다)
③ 0.1 ㎍/ml uranine 용액 (②의 용액을 1/100으로 희석시킨다)
* 용액은 항상 실험 직전에 희석
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물리화학실험』, 자유아카데미, 2013, p23~49
최종하 등 공역, 『물리화학』, 사이플러스, 2007
구글, 반응식 참조
네이버, 시약 참조
D.Kealey&P.J Haines『분석화학』,자유아카데미,2008,pp113~120
http://www.uccs.edu/Documents/chemistry/nsf/106%20Expt3V-Equilibrium.pdf
http
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Chemistry (Silbey)
분석화학 (Harris)
분광학적 입문 (Pavia. Donald L.)
유기구조분광학 (Joseph B.Lambert)
https://www.quora.com/what-is-the-difference-between-antibonding-and-non-bonding-orbital
http://www.chem.ucalgary.ca/courses/351/carey5th/ch10-1-1.html
물리화학실험/ 대한화학회/ 청문각
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in 1064nm)
Laser power meter
Iris
Mechanical pump
N2 Gas
Si substrate
Graphite target
7.실험방법
8.참고문헌
Atkins physical chemistry 8 edition / Peter Atkins
물리화학실험 / 경희대학교 이과대 화학과교재
물리화학실험 / 김정림
http://web.khu.ac.kr/~mdpld (물리화학연습 : 이론
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물리화학실험, 이문득 저, 자유아카데미
Chemical Reaction Engineering 2nd ed, O. Levenspiel, John Wiley and Sons
이화학사전, 김병희 외 다수, 성문각
http://www.encyber.com, 두산세계대백과
일반화학1, 일반화학교재연구회, 자유아카데미
화학공학실험 메뉴얼
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in a box의 크기가 이론값보다 더 커진다는 것을 감안하여, 오차의 원인을 추정할 수 있었다.
8.참고문헌
Atkins physical chemistry 8 edition / Peter Atkins
물리화학실험 / 경희대학교 이과대 화학과교재
물리화학실험 / 김정림
物理 化學 實驗 / 李文得
http:
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chemistry 8 edition / Peter Atkins
물리화학실험 / 경희대학교 이과대 화학과교재
물리화학실험 / 김정림
物理 化學 實驗 / 李文得
http://web.khu.ac.kr/~mdpld (물리화학연습 : 이론 및 실험방법 print / 물리화학1 : 이론 print) 결과
1.실험제목
2.날짜
3.
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