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칩과 같은 생물 센서 분야에 다양하게 실용화되고 있는 중요한 정밀화학 소재 연구분야이다 1. 감광성 고분자
(1) 디프 UV레지스트(Deep UV resist)
(2) 전자 레지스트
(3) X선 레지스트
(4) 광기록 재료
(5) 포토레지스트 감광재료
2. 전망
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감광성 물질과 용도가 옳지 않은 것은?
정답 포토레지스트-복사기
15.다음의 산화제 용도 짝 중에서 어색한 것은?
정답 과산화수소-수영장 소독
16.햇빛에 노출되지 않고도 갈색의 피부를 만들어주는 로션의 작용 메카니즘은?
정답 디히드록시
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고분자 재료의 표면성질이 중요
• 혈액의 흐름이 빠른 경우
⇒ 표면의 거칠기(roughness)와 이에 따른 표면에서의 분자운동
등이 큰 영향을 미침 Ⅰ. 생체 재료
Ⅱ. 감광성 고분자
Resist for next generation lithography
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고분자 OLED, 구동방식에 따라 수동형 구동방식(passive matrix)과 능동형 구동방식(active matrix)으로 구분한다.
한국은 2004년 현재 수동형 OLED 시장 점유율 세계 1위를 달성하였으며 삼성에서는 OLED를 초대형화할 수 있는 SGS(Super Grain Silicon) 기술을 적
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경유하는 다이렉트 제판에까지 발전하고 있다. 복사기나 레이저 프린트용의 광도전성 드럼(Drum)은 그 일례이다. (1) 포토레지스트(photoresists)
(2) 디프 UV레지스트(Deep UV resist)
(3) 전자 레지스트
(4) X선 레지스트
(5) 광기록 재료
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레지스트 소재 개발 연구
- 기존 포토레지스트 소재의 내구성을 개선하기 위해 새로운 고분자 재료 적용
- 공정 최적화를 위한 소재 조성 연구 및 물성 분석 (FTIR, TGA, SEM 분석 수행)
- 연구 결과: 기존 대비 15% 높은 패턴 해상도 확보, 공정 안
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