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박막과 증착의 정의
박막이란 전기적,결정적 특성이 양 표면에 의해 지배되는 경우이고,그 두께는 단원자층,단분자층의 것에서부터 약5μm까지를 기준으로 두나,경우에 따라서는 그 한계가 달라질 수 있다.
증착이란 액체가 증기로 되어 수
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전력 값에 따른AZO박막 증착과
결정구조와 전기 및 광학적특성.
신소재
요 약
투명전도성 산화물(transparent conducting oxide, TCO)은 태양전지 혹은 디스플레이 등의 대면적 전자소자에 응용 할 수 있어서 많이 연구 되고 있다. 그 중에서도 AZO는 고
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자장도 가해서 박막을 만들 수 있도록 된 것 이다. 비교적 균일한 두께의 박막을 얻을 수 있다. 이 장치는 <그림1-18>에서 보여준 것과 유사한 것인데, 즉 전극 ②와③ 사이에 고주파 전원을 걸어 준 것이 그것과 다를 뿐이다.
b. 진공 증착
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로는 자장도 가해서 박막을 만들 수 있도록 된 것 이다. 비교적 균일한 두께의 박막을 얻을 수 있다. 이 장치는 <그림1-18>에서 보여준 것과 유사한 것인데, 즉 전극 ②와③ 사이에 고주파 전원을 걸어 준 것이 그것과 다를 뿐이다.
b. 진공
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박막의 내마모성 측정 - 둥근 구모양의 끝을 가진 핀을 박막이 증착된 기판에 일정한 로드로 누르는 동시에 기판을 회전시키면서 마모, 마찰 특성을 측정한다. 일정 시간동안 마모된 박막의 양을 기록하면서 컴퓨터로 마모율을 계산한다.
⑧
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박막과 충돌하여 온도를 상승시키며, 높은 압력에서 증착하므로 박막에 불순물이 들어갈 수 있다.
스퍼터링에서 증착률을 높이려면 쳄버의 Ar이온화율이 높아야 한다. 운동하는 전자에 자기장을 수직으로 걸어줄 경우 전자가 자기장 주위에
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박막태양전지의 부상과 시사점/ 조용권 연구원/ 삼성경제연구소
◎박막태양전지 시장동향/ 정보통신부/ 삼성경제연구소
◎염료감응 태양전지와 Photoswitching 유기재료/ 연료감응형 전지 연구소/ 삼성경제연구소
◎구글이미지
◎야후이미지&nbs
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박막 트랜지스터라 하겠다. 그러나 유기 박막 트랜지스터는 상용화하기에는 아직 그 전기전도도가 낮고 문턱 전압이 높아 결과적으로 구동 전압을 높이는 역할을 한다.
이러한 점을 착안하여 본 논문에서는 유기 박막 트랜지스터의 누설전
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박막 프로세스의 기초> ,김원찬 저 ,피어슨에듀코리아, 2000년 1.박막공정
1.1. 박막공정의 정의
1.2. 박막공정의 과정
2. 세척
3. 증착
3.1. 증착의 정의
3.2. 증착의 종류
3.3. 증착의 요구 조건
4. PVD
4.1. PVD의 정의
4.2. PVD의
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박막의 고주파 표면저항의 균일성 연구” 건국대학교 석사학위 청구 논문(2002).
[13] Sang Young Lee et al., Effects of the two-gap nature on the microwave conductivity of polycrystalline MgB2 films with a critical temperature of 39K, Phys. Rev. B71, 104514 (2005)
[14] J. H. Lee et al., Intrin
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