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있는 효과를 제공한다.
4.참고문헌
http://100.naver.com/100.nhn?docid=183890
http://100.naver.com/100.nhn?docid=792664
http://www.plasmakorea.com/
http://patent.naver.com/patent/specification.php?ApplicationNumber=102074045
http://patent.naver.com/patent/specification.php?ApplicationNumber=100830657&
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플라즈마의 특성을 해석하는데 있어 여러 시뮬레이션 프로그램에 의해 좀더 실제적인 플라즈마 현상들을 관찰하고 연구하고 있다. 1. 플라즈마(Plasmas)란 무엇인가?
2. 플라즈마의 상태
3. 플라즈마(Plasmas)의 사용용도
4. 플라즈마의
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리포트, KETI, 2004. 12.
-플라즈마 디스플레이의 기술과 현황 / 강정원 회 / 반도체및디스플레이학회지 제3권 제4호
-플라즈마 디스플레이 패널의 구동방식 및 구동회로 / 권오경 / 전기전자재료학회지 제 13권 제8호
-플라즈마 디스플레이의 기본
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Plasma란?
Plasma의 생성
Plasma의 특성
Chamber 내에서의 DC 플라즈마
Chamber 내에서의 RF 플라즈마
Symmetrical System
Asymmetric System
이온화 된 기체
→ 물질의 제4상
구성 :
(-) 전위의 전자
(+) 전위의 이온
이온화 되지 않은 자연상태의 원자와 분
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라 단독 또는 혼합하여 투입하면서 전기적 에너지를 가하면 가속된 전자의 충돌에 의하여 투입된 가스가 플라즈마 상태로 활성화 된다. 이러한 플라즈마 상태에서 발생하는 가스의 이온 또는 라디칼 등이 피처리 재료 표면에 충돌하여 미세
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(PDP: Plasma Display Panel)는 산업전반에 폭넓게 사용되고 있는데 대표적인 것이 PDP TV이다.
마지막으로 플라즈마는 핵융합을 통해 석유나 석탄과 같은 화석연료를 대체하여 사용할 수 있으며, 세계의 주요 선진국들은 플라즈마를 이용한 대체에너
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유리에 poly-silicon 박막 증착을 이용해 태양전지 제조, TFT-LCD 제조 등)
핵융합 및 환경기술 분야
- 고온 플라즈마를 위한 중성입자 빔 heating 시스템 기술
- 전자빔에 의한 하폐수 처리 기술
Bio 기술 분야
- Biological structure 규명
- DNA 합성
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플라즈마 장치를 건설하고 있으며, S전기에서는 자동차 배출가스 정화용을 개발 중에 있다. 또한 Mizuno 등은 실험실 규모의 습식 플라즈마 반응기 (wet type plasma reactor)를 이용하여 소각로 배출가스 중의 다이옥신을 92%, HCl을 98%, NOx 및 SO2를 각각
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플라즈마로 표면 코팅처리를 하면 마모나 부식을 방지할 수 있고 유물의 상태를 개선하는 효과를 낼 수도 있다. 플라즈마가 내는 빛을 이용한 플라즈마표시장치(PDP:Plasma Display Panel)는 산업전반에 폭넓게 사용되고 있는데 대표적인 것이 PDP TV
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가되어져 있다.
1) 스퍼터링
스퍼터링에서는 ion등을 전계로 가속시켜 대상물질에 입사시키면, 대상물질에서 이온등이 방출되고, 이것들을 기판에 증착시키거나 코팅시키는 증착방법이다.
우선 플라즈마를 생성하기 위해 아르곤(Ar)가스 분위
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