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plasmaquest.com/
[7] Fujitsu , http://www.fujitsu.co.jp/
[8] Chen , Plasma Physics and Controlled fusion , Plenum Press , New York, 1988
[9] Ruth DeJule, Flat Panel Technologies, Semiconductor International , January, 1997 , 59-66 pages
[10] 임한조, 플라즈마 표시소자의 원리와 응용, 물리학과 첨단
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플라즈마와 산업용으로 활용되고 있는 수만-수십만도의 저온 플라즈마 2가지로 크게 분류됨 1. 진공이란
2. 진공의 단위 및 분류
3. 증착 장비
4. Magnetron Sputtering
5. 플라즈마 기초 및 응용분야
6. 플라즈마란?
7. 상태 안정
8. 플라즈마
9.
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플라즈마의 열적 성질
3. 플라즈마의 화학적 성질
6. 플라즈마의 응용
1. 핵융합 발전
2. 신물질 합성 및 표면개질
3. 반도체 프로세스와 초미세 가공
4.조명 및 정보표시 장치
5.열플라즈마의 적용분야
6.저온 플라즈마의 적용분야
7.
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플라즈마 용해, 플라즈마 징크 공정
5) 플라즈마에 의한 산화물의 환원
6) 수소 플라즈마에 의한 할로겐화물의 환원
(1) 육불화 우라늄에서 우라늄의 환원
(2) 할로겐화물의 환원에 의한 금속분말의 제조
6. 플라즈마의 응용분야
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