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1999
2. Harland G. Tompkins, 'Pumps Used in Vacuum Technology', American Vacuum Society(AVS), 1991
3. Donald M. Mattox, 'Handbook of Physical Vapor Deposition Processing', Noyes Publication, 1998 1. 진공 펌프의 분류
2. Positive displacement 펌프
3. Entrapment 펌프
4. 그밖의 펌프
참고문헌
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펌프의 분류
1. Positive displacement 펌프
1) 로터리 펌프(rotary vane pump)
2) 루츠 펌프(Roots pump)
3) 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)
4) 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)
2. Entrapment 펌프
1) 이온 펌프(Ion pump)
2) Cryogenic pump
3) Getter pump
3. 그밖의 펌프
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, 1999
2. Harland G. Tompkins, 'Pumps Used in Vacuum Technology', American Vacuum Society(AVS), 1991
3. Donald M. Mattox, 'Handbook of Physical Vapor Deposition Processing', Noyes Publication, 1998 1. 진공 펌프의 분류
2. Positive displacement 펌프
3. Entrapment 펌프
4. 그밖의 펌프
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1. 진공 펌프의 분류
2. Positive displacement 펌프
2.2 루츠 펌프(Roots pump)
2.3 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)
2.4. 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)
3. Entrapment 펌프
3.1. 이온 펌프(Ion pump)
3.2. Cryogenic pump
3.3. Getter pump
4. 그밖의 펌프
참고문헌
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pump 종류, 특징
1. 정변위펌프(positive-displacement pump, 용적식 펌프)
- 왕복 피스턴이나 회전 요소에 의해 방에 액체를 채웠다가 비웠다가 함으로서 액체에 직접 압력
1.1 왕복펌프(reciprocating pimp)
- 방이 고정 실린더인데, 그 안에 피스턴이나 플런
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positive suction head)에 대해 설명하시오.
16. Material의 Creep과 Fatigue 현상에 대해 설명하고 실제 예를 들어보시오.
17. 다음 그림과 같이 밀폐된 얇은 원통용기 내부에 압력 P가 작용하고 있을때, 축방향 응력 σ1과 원주방향 응력 σ2을 각각 구하
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