|
anodization, 陽極酸化] (용어해설)
구글검색
https://www.google.co.kr/?gfe_rd=cr&ei=uWgwV7X6F-vC8gerzIPgAg&gws_rd=ssl#q=%EC%96%91%EA%B7%B9%EC%82%B0%ED%99%94+%ED%99%A9%EC%82%B0+%EC%95%8C%EB%A3%A8%EB%AF%B8%EB%8A%84&start=20
KISS 학술데이터 연구자료 검색
http://search.koreanstudies.net.library.kpu.ac
|
|
|
closed tube)으로 하는 방법이 있다. 또한 낮은 온도에서의 증착법(CVD), 전해액을 사용하여 성장하는 방법(anodization) 등이 있다.
산화막성장은 전기로에서 크게 3가지 단계로 분류된다. 첫째, 웨이퍼를 석영관으로 넣는 과정, 둘째, 산화막성장과정
|
|
|
Photolithography :
특정한 화학약품(Photo resist)이 빛을 받으면 화학반응을 일으켜서 성질이 변화하는 원리를 이용
얻고자 하는 pattern의 mask를 사용하여 빛 을 선택적으로 PR에 조사함으로써 mask의 pattern과 동일한 pattern을 형성시키는 공정 photo
|
|
|
Anodization (2005)
[3]T. Burakowski, T. Wierzchon Surface Engineering of Metals: Principles,Equipment, Technologies(1999)
[4] Benpeng Jiang, Materials Chemistry and Physics, Volume 92, Issues 2-3, 15 August (2005),
[5] http://enfect.co.kr/purification/principle.htm
[6] http://www.solarteche.com/sub
|
|
메뉴펼치기
