|
Bohm Criterion
3.5 Ambipolar Diffusion
Ⅱ. DC Glow Discharge
1. Architecture of the Discharge
1.1 Structure of DC Plasma
1.2 I-V characteristics of DC glow discharge
1.3 Voltage Distribution in DC glow discharge
2. Maintenance of the Discharge
2.1 Secondary Electron Emission
3. Three regi
|
|
|
Glow discharge
목차
1. 결과 해석
2. 오차 및 해결방안
3. 실생활 예시
참고자료
1. 결과 해석
고체, 액체, 기체 등 물질의 상태가 변할 때, 특히 기체 상태에서는 이온화 현상이 발생하여 특정한 전기적 성질을 가지게 된다. 이러한
|
|
|
, 전기기기에 대해서는 일반적으로 바람직하지 못하고, 무선통신 등에서는 잡음원의 하나이다. 1. 코로나 방전(corona discharge)
2. 진공방전 [vacuum discharge]
① 아크방전 [ arc discharge ]
② 글로방전 [glow discharge]
③ 불꽃방전 [spark discharge
|
|
|
1)․low-pressure glow discharge를 이용함으로써 화학반응을 촉진시키고, 열적 반응만 있을 때보다 더 낮은 온도에서 plasma-assisted 반응을 가능하게 하는 CVD 공정이다.
2)․energetic particle의 충돌을 이용하여 film의 물리적, 화학적 성질을 개선할
|
|
|
glow discharge가 유지된다. 이러한 2차 전자들은 cathode에 수직한 방향의 경로를 통해서 anode로 다가간다.
Magnetron 스퍼터링에서는 자장이 target 표면과 평행하기 때문에 전장에 대해서는 수직하다. 따라서 전자는 Lorentz 의 힘을 받아 선회 운동(gyrati
|
|
메뉴펼치기
