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Bohm Criterion
3.5 Ambipolar Diffusion
Ⅱ. DC Glow Discharge
1. Architecture of the Discharge
1.1 Structure of DC Plasma
1.2 I-V characteristics of DC glow discharge
1.3 Voltage Distribution in DC glow discharge
2. Maintenance of the Discharge
2.1 Secondary Electron Emission
3. Three regi
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, 전기기기에 대해서는 일반적으로 바람직하지 못하고, 무선통신 등에서는 잡음원의 하나이다. 1. 코로나 방전(corona discharge)
2. 진공방전 [vacuum discharge]
① 아크방전 [ arc discharge ]
② 글로방전 [glow discharge]
③ 불꽃방전 [spark discharge
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1)․low-pressure glow discharge를 이용함으로써 화학반응을 촉진시키고, 열적 반응만 있을 때보다 더 낮은 온도에서 plasma-assisted 반응을 가능하게 하는 CVD 공정이다.
2)․energetic particle의 충돌을 이용하여 film의 물리적, 화학적 성질을 개선할
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glow discharge가 유지된다. 이러한 2차 전자들은 cathode에 수직한 방향의 경로를 통해서 anode로 다가간다.
Magnetron 스퍼터링에서는 자장이 target 표면과 평행하기 때문에 전장에 대해서는 수직하다. 따라서 전자는 Lorentz 의 힘을 받아 선회 운동(gyrati
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glow discharge가 발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 plasma를 보인다.
-. plasma내의 Ar+이온은 큰 전위차에 의해 cathode(target)쪽으로 가속되어 target의 표면과 충돌하면, 중성의 target원자들이 튀어나와 기판에 박막을 형성한다
Spining
회전도
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