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쉽기 때문이다. PVD
evaporator : thermal, e-beam, laser
sputtering : DC, RF, 마그네트론스퍼터링
step coverage
CVD
homogeneous reaction & Heterogeneous reaction
Mass Transport Controlled vs Surface Reaction Controlled
Thermodynamics vs Kinetics
MOCVD
PECVD
HW-CVD
Furnace
ICP-CVD
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조사하여 경화한다.
7. 참고 문헌
[1] http://limnico.blog.me/40013780201
[2] http://rrhfrrkq.blog.me/50028259352
[3] http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=865481&cid=42346&categoryId=42346
[4] http://iam76men.blog.me/10015624737
[5] http://blog.naver.com/ioyou64/130160165264
[6] http://terms.naver.co
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