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SDI UNIST 웹진 [unist.ac.kr] 두산백과 엔하위키 KAIST 기계공학과 -서론 Thermal & E-beam evaporator? Thermal Evaporation 란? Electron Beam Evaporation 란? -본론 1. Thermal & E-beam evaporator 원리 2. E-beam evaporator (장치) 3. E-beam evaporator 공정 순서 -결론 -참조
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  • 등록일 2015.10.01
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쉽기 때문이다. PVD evaporator : thermal, e-beam, laser sputtering : DC, RF, 마그네트론스퍼터링 step coverage CVD homogeneous reaction & Heterogeneous reaction Mass Transport Controlled vs Surface Reaction Controlled Thermodynamics vs Kinetics MOCVD PECVD HW-CVD Furnace ICP-CVD
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  • 등록일 2006.08.08
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  • 참고문헌 없음
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조사하여 경화한다. 7. 참고 문헌 [1] http://limnico.blog.me/40013780201 [2] http://rrhfrrkq.blog.me/50028259352 [3] http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=865481&cid=42346&categoryId=42346 [4] http://iam76men.blog.me/10015624737 [5] http://blog.naver.com/ioyou64/130160165264 [6] http://terms.naver.co
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  • 등록일 2023.06.03
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