목차
1. 재료공정실습 프로그램
2.학습과목
3.실험실습의 목표
4.관련지식
5.소요 장비 및 재료
6.실험실습의 학습지도 전개
2.학습과목
3.실험실습의 목표
4.관련지식
5.소요 장비 및 재료
6.실험실습의 학습지도 전개
본문내용
하고 자신의 의문점등을 질문하여 답을 얻는다.
준비해온 강의 자료를 컴퓨터에 옮기거나 장치하고 빔프로젝트와 컴퓨터를 미리 연결해 놓는다.
약 5분
~10분 사이
선수학습
확인단계
①오늘 수행할 실습제목을 인식: Sputtering공정 실습
②증착의 개념을 인식시킨다.
③동기부여를 위한 질문
: 스퍼터링을 하는 이유는 무엇인가?
①미리 찾아본 정보를 통해 알아본 스퍼터링에 대해 다시 상기한다.
②교사가 강의하는 내용을 경청하여 자신이 조사해온 내용과 비교한다.
장치해놓은 빔프로젝트를 이용하여 프리젠테이션방식의 강의를 진행하고 학습자의 질문과 교수자의 답으로 강의를 이끌어나간다.
약40분간진행
된다.
과제목표
인식단계
①오늘 수행해야할 스퍼터링의 장단점과 실제로 어떻게 쓰이는지 실질적인 예를 보여주고 그것들에 따른 부속적인 설명들을 해 준다.
②실습방법과 실습을 수행하면서 주의해야 할 점을 이야기한다.
①교사가 강의하는내용을 경청하면서 필요한 내용을 메모해둔다.
②교사의 강의 내용 중 궁금한 것에 대한 질문을 생각해둔다.
전
개
관련지식
이해 및 정리단계
①플라즈마의 원리에 대해서 자세히 설명하고 스퍼터링의 원리에 대해 설명한다
②학습자 스스로 알아온 정보와 교사가 강의한 내용 중 의문점을 질문 받는다.
③조안에서 개인별로 예습해온 정보들을 나눌 수 있도록 토의를 유도한다.
①자신의 정보와 교사가 강의한 내용의 정보중 의문점을 질문하고 최종적으로 정보를 정리한다.
②각 조원들의 정보를 공유한다.
기본기능 시험단계
*준비한 실습시범영상을 빔프로젝트를 통해 학생들에게 보여줌으로서 실험방법과 단계별 주요 관찰점과 이용매체, 관련지식, 안전사항등을 인지시킨다.
①glass기판 만들기
②세정 : 기판을 “아세톤초음파 세척기알코올초음파세척기증류수”의 단계로 세정, 남은 물기 질소가스로 제거
③장착 : 챔버에 glass기판을 고정 장착
④진공 잡기:1.2 X 10-5 torr까지 초기진공
⑤Ar 가스 주입 후 증착 압력을 조절
⑥플라즈마 띄우기 : 약 30분간
⑦증착 : 타겟과 기판의 사이를 막고 있던 판을 열어 기판에 각조의 변수에 따라 증착
⑧glass기판세척
⑨전기저항 및 증착두께를 측정
①정확한 실습방법을 상기한다.
②주의사항과 반드시 명확히 해야 할 것들을 확인하고 대해 메모한다.
③조원들과 상의 후 역할을 분담한다.
자기연습
및
자기확인
단계
①지금까지의 모든 정보들을 통합하여 전체 실습과정 지시서를 작성한다.
②실습을 직접 수행해 봄으로서 이론으로 배웠던 내용과 실제로 수행한 내용이 일치하는지 여부를 확인하게 한다. 이론과 실습 결과에 차이점이 있다면 그 원인을 분석하도록 유도한다.
③좋지 않은 결과가 도출되었다면 결과에 미쳤던 오차원인들을 학습자 스스로 생각할 수 있도록 유도한다.
④학습자가 도저히 해결할 수 없는 난관에 봉착하면 적당한 답을 주어 스스로 생각하여 적절한 답을 찾을 수 있도록 한다.
①전 단계에서 학습했던 실습방법을 상기하며 실습에 임한다.
②실험도중 발생한 예측 가능하지 않은 오차문제들을 습득한 이론과 전공 기술적 경험을 바탕으로 주어진 환경조건에 맞게 분석하여 좀 더 현실적이면서 창의적으로 문제를 해결하도록 한다.
③도저히 해결할 수 없는 어려움에 다다랐을 때에는 적당한 질문으로 교사로 하여 피드백을 받도록 한다.
④적절한 결과가 도출되었다면 이론상으로 설명할 수 있도록 한다.
진공스퍼터링장치,음이온 세척기,4poin
t저항기(전기저항도측정),서페이스 Profiler(두께균일도측),AZO(tar
get),Glass substrate(기판),테이프 등으로 스퍼터링을 실습한다.
약3시간에걸쳐진행된다.
자기평가
단계
①실습이 끝난 뒤 도출해낸 결과값에 대하여 조원들과 토의하여 자체 평가를 실시하도록 한다.
②토의를 통해 얻은 여러 가지 결과와 오차원인들을 통합하여 문서화하도록 유도한다.
③지금까지 수행한 실습의 방법과 관련이론, 실습을 통한 결과값, 토의를 통한 실습에 대한 여러 의견들을 통합하여 결과 보고서를 작성하여 제출하도록 한다.
①실습이 끝난 뒤 결과값에 대하여 조원들과 토의한다.
②토의를 통해 나름의 오차원인을 밝히고 그것들을 메모한다.
③오늘 수행한 실습에 대하여 가주고있는 정보와 결과 오차원인들을 종합하여 보고서로 작성할 준비를 한다.
각 조별 토의를 중심으로 진행한다.
약30분에걸쳐 진행된다.
정
리
교사평가 및
정리단계
①오늘 실습한 내용과 공정변수와 결과값의 상하관계에 대해 약간의 정보를 주고 전체적인 오차의 경향은 학습자스스로 정리하도록 유도한다.
②오차가 없었을 경우의 정확한 결과값을 프리젠테이션을 통해 소개하고 중요부분을 강조하여 오늘 수행한 실습을 정리한다.
③다음 실험시간까지 이번실습의 결과 보고서를 과제로 제시한다.
①교사의 마지막 정리를 경청하여 토의를 통해서도 알아내지 못했던 오차원인이나 정보를 메모하도록 한다.
장치해놓은 빔프로젝트를 이용하여 프리젠테이션방식의 강의를 진행한다.
약20분에걸쳐 진행된다.
①②③④
(6) 실험실습의 학습지도 전개
학습단계
학습내용
교사활동
학생활동
학습전략 및 매체
시간(분)
선수학습확인
- 교과내용의 전체적 체계와 연계한 도입
- 선행학습 내용을 활용한 간단한 확인 과제(질문) 제시
- 확인 질의
과제목표 인식
- 완성물 및 도면 등을 보이며 동기 유발
- 학습내용의 구성 체계 및 주요 학습과정 설명
- 재료, 공구 등 준비
- 과제 구성 파악
관련지식이해
- 관련지식 설명
- 그룹내에서 토의 정리하게 함
- 구체적 추가자료 조사 정리하게 함
중간 중간 학생의 연습 및 확인기회를 주고, 끝에 주요사항을 그룹토의 및 개별정리하게함.
기본기능시범
- 작업단계를 나누어 시범방법(작업모델) 계
- 제시방법 과 작업단계별 주요 관찰점 설명계획
- 시범단계별 이용매체 정리
- 작업단계별 관련지식, 안전사항 설명 계획
- 작업하는 동안참고하여야 할 자기평가기준제시
중간 중간 학생의 연습 및 확인기회를 주고, 끝에 주요사항을 그룹토의 및 개별정리하게함
자기연습
- 전체 실습과정 지시서 작성
- 지식 및 실기평가를 위한 보고서(과제) 작성
- 작업과정 중 관찰사항 정리
-
준비해온 강의 자료를 컴퓨터에 옮기거나 장치하고 빔프로젝트와 컴퓨터를 미리 연결해 놓는다.
약 5분
~10분 사이
선수학습
확인단계
①오늘 수행할 실습제목을 인식: Sputtering공정 실습
②증착의 개념을 인식시킨다.
③동기부여를 위한 질문
: 스퍼터링을 하는 이유는 무엇인가?
①미리 찾아본 정보를 통해 알아본 스퍼터링에 대해 다시 상기한다.
②교사가 강의하는 내용을 경청하여 자신이 조사해온 내용과 비교한다.
장치해놓은 빔프로젝트를 이용하여 프리젠테이션방식의 강의를 진행하고 학습자의 질문과 교수자의 답으로 강의를 이끌어나간다.
약40분간진행
된다.
과제목표
인식단계
①오늘 수행해야할 스퍼터링의 장단점과 실제로 어떻게 쓰이는지 실질적인 예를 보여주고 그것들에 따른 부속적인 설명들을 해 준다.
②실습방법과 실습을 수행하면서 주의해야 할 점을 이야기한다.
①교사가 강의하는내용을 경청하면서 필요한 내용을 메모해둔다.
②교사의 강의 내용 중 궁금한 것에 대한 질문을 생각해둔다.
전
개
관련지식
이해 및 정리단계
①플라즈마의 원리에 대해서 자세히 설명하고 스퍼터링의 원리에 대해 설명한다
②학습자 스스로 알아온 정보와 교사가 강의한 내용 중 의문점을 질문 받는다.
③조안에서 개인별로 예습해온 정보들을 나눌 수 있도록 토의를 유도한다.
①자신의 정보와 교사가 강의한 내용의 정보중 의문점을 질문하고 최종적으로 정보를 정리한다.
②각 조원들의 정보를 공유한다.
기본기능 시험단계
*준비한 실습시범영상을 빔프로젝트를 통해 학생들에게 보여줌으로서 실험방법과 단계별 주요 관찰점과 이용매체, 관련지식, 안전사항등을 인지시킨다.
①glass기판 만들기
②세정 : 기판을 “아세톤초음파 세척기알코올초음파세척기증류수”의 단계로 세정, 남은 물기 질소가스로 제거
③장착 : 챔버에 glass기판을 고정 장착
④진공 잡기:1.2 X 10-5 torr까지 초기진공
⑤Ar 가스 주입 후 증착 압력을 조절
⑥플라즈마 띄우기 : 약 30분간
⑦증착 : 타겟과 기판의 사이를 막고 있던 판을 열어 기판에 각조의 변수에 따라 증착
⑧glass기판세척
⑨전기저항 및 증착두께를 측정
①정확한 실습방법을 상기한다.
②주의사항과 반드시 명확히 해야 할 것들을 확인하고 대해 메모한다.
③조원들과 상의 후 역할을 분담한다.
자기연습
및
자기확인
단계
①지금까지의 모든 정보들을 통합하여 전체 실습과정 지시서를 작성한다.
②실습을 직접 수행해 봄으로서 이론으로 배웠던 내용과 실제로 수행한 내용이 일치하는지 여부를 확인하게 한다. 이론과 실습 결과에 차이점이 있다면 그 원인을 분석하도록 유도한다.
③좋지 않은 결과가 도출되었다면 결과에 미쳤던 오차원인들을 학습자 스스로 생각할 수 있도록 유도한다.
④학습자가 도저히 해결할 수 없는 난관에 봉착하면 적당한 답을 주어 스스로 생각하여 적절한 답을 찾을 수 있도록 한다.
①전 단계에서 학습했던 실습방법을 상기하며 실습에 임한다.
②실험도중 발생한 예측 가능하지 않은 오차문제들을 습득한 이론과 전공 기술적 경험을 바탕으로 주어진 환경조건에 맞게 분석하여 좀 더 현실적이면서 창의적으로 문제를 해결하도록 한다.
③도저히 해결할 수 없는 어려움에 다다랐을 때에는 적당한 질문으로 교사로 하여 피드백을 받도록 한다.
④적절한 결과가 도출되었다면 이론상으로 설명할 수 있도록 한다.
진공스퍼터링장치,음이온 세척기,4poin
t저항기(전기저항도측정),서페이스 Profiler(두께균일도측),AZO(tar
get),Glass substrate(기판),테이프 등으로 스퍼터링을 실습한다.
약3시간에걸쳐진행된다.
자기평가
단계
①실습이 끝난 뒤 도출해낸 결과값에 대하여 조원들과 토의하여 자체 평가를 실시하도록 한다.
②토의를 통해 얻은 여러 가지 결과와 오차원인들을 통합하여 문서화하도록 유도한다.
③지금까지 수행한 실습의 방법과 관련이론, 실습을 통한 결과값, 토의를 통한 실습에 대한 여러 의견들을 통합하여 결과 보고서를 작성하여 제출하도록 한다.
①실습이 끝난 뒤 결과값에 대하여 조원들과 토의한다.
②토의를 통해 나름의 오차원인을 밝히고 그것들을 메모한다.
③오늘 수행한 실습에 대하여 가주고있는 정보와 결과 오차원인들을 종합하여 보고서로 작성할 준비를 한다.
각 조별 토의를 중심으로 진행한다.
약30분에걸쳐 진행된다.
정
리
교사평가 및
정리단계
①오늘 실습한 내용과 공정변수와 결과값의 상하관계에 대해 약간의 정보를 주고 전체적인 오차의 경향은 학습자스스로 정리하도록 유도한다.
②오차가 없었을 경우의 정확한 결과값을 프리젠테이션을 통해 소개하고 중요부분을 강조하여 오늘 수행한 실습을 정리한다.
③다음 실험시간까지 이번실습의 결과 보고서를 과제로 제시한다.
①교사의 마지막 정리를 경청하여 토의를 통해서도 알아내지 못했던 오차원인이나 정보를 메모하도록 한다.
장치해놓은 빔프로젝트를 이용하여 프리젠테이션방식의 강의를 진행한다.
약20분에걸쳐 진행된다.
①②③④
(6) 실험실습의 학습지도 전개
학습단계
학습내용
교사활동
학생활동
학습전략 및 매체
시간(분)
선수학습확인
- 교과내용의 전체적 체계와 연계한 도입
- 선행학습 내용을 활용한 간단한 확인 과제(질문) 제시
- 확인 질의
과제목표 인식
- 완성물 및 도면 등을 보이며 동기 유발
- 학습내용의 구성 체계 및 주요 학습과정 설명
- 재료, 공구 등 준비
- 과제 구성 파악
관련지식이해
- 관련지식 설명
- 그룹내에서 토의 정리하게 함
- 구체적 추가자료 조사 정리하게 함
중간 중간 학생의 연습 및 확인기회를 주고, 끝에 주요사항을 그룹토의 및 개별정리하게함.
기본기능시범
- 작업단계를 나누어 시범방법(작업모델) 계
- 제시방법 과 작업단계별 주요 관찰점 설명계획
- 시범단계별 이용매체 정리
- 작업단계별 관련지식, 안전사항 설명 계획
- 작업하는 동안참고하여야 할 자기평가기준제시
중간 중간 학생의 연습 및 확인기회를 주고, 끝에 주요사항을 그룹토의 및 개별정리하게함
자기연습
- 전체 실습과정 지시서 작성
- 지식 및 실기평가를 위한 보고서(과제) 작성
- 작업과정 중 관찰사항 정리
-
소개글