MOCVD 공정 (Metal Organic Chemical Vapor Deposition)

소개글

MOCVD 공정(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)에 대한 보고서 자료입니다.

목차

MOCVD 란?

MOCVD의 원리

MOCVD의 특징

MOCVD의 응용분야

본문내용

MOCVD의 특징
박막형성 반응에 사용되는 반응가스의 공급원이 유기금속전구체로 낮은 온도에서 공급원의 분압이 높고 분해가 잘되는 장점이 있으므로 박막 증착시 반응가스의 공급을 원활하게 할 수 있다
고순도로 정제된 공급원을 사용할 수 있어 성장되는 박막의 특성을 우수하게 할 수 있다. 이러한 유기금속 공급원의 가장 큰 장점은 저온에서 휘발성이 높다는 점이다

키워드

MOCVD,   반도체,   반도체공학,   LD,   LED