목차
1. 실험목적
2. 이론
가. SEM
나. SEM의 구성
1) 전자광학계(Electrical optical system)
2) 시료실(Specimen stage)
3) 검출기(Secondary electron(SE) detector) - collect signal
4) 배기계(Vacuum system)
5) 전기계(Electronics)
다. SEM의 분해능
라. SEM의 시편준비
마. 가속전압(accelerating voltage)의 영향
바. Working distance 와 Depth of focus 와의 관계
사. SE image 와 BSE image의 차이
1) Secondary Electron
2) Back Scattered electro
3) SE image 와 BSE image 의 차이점
3. 실험방법
4. 실험결과
①연성파면
②취성파면
③취성+연성 파면
5. 고찰
2. 이론
가. SEM
나. SEM의 구성
1) 전자광학계(Electrical optical system)
2) 시료실(Specimen stage)
3) 검출기(Secondary electron(SE) detector) - collect signal
4) 배기계(Vacuum system)
5) 전기계(Electronics)
다. SEM의 분해능
라. SEM의 시편준비
마. 가속전압(accelerating voltage)의 영향
바. Working distance 와 Depth of focus 와의 관계
사. SE image 와 BSE image의 차이
1) Secondary Electron
2) Back Scattered electro
3) SE image 와 BSE image 의 차이점
3. 실험방법
4. 실험결과
①연성파면
②취성파면
③취성+연성 파면
5. 고찰
본문내용
실험목적
기술이 진보함에 따라 마이크론 크기나 그 이하 크기의 시료에 대한 관찰과 분석을 통한 정확한 이해가 필요하게 되었다.ㅏ 이러한 미세 구조에 대한 관심으로 인해 단순한 확대경에서 광학현미경에 이르는 현미경의 발전이 이루어졌다.그러나 아무리 성능이 우수한 렌즈를 사용한 광학현미경이라 하더라도 광원으로 사용되는 빛의 파장이 가지는 한계성으로 인해 미세 구조에 대해서는 관찰이 불가능하다. 이러한 한계를 극복하기위해 전자선을 광원으로 사용하는 전자현미경이 개발되었다. 이러한 주사전자현미경(Scannning Electron Microscope : SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기이다. 주사전자현미경은 가느다란 전자빔을 시료표면에 주사시켜 2차 전자를 발생하게 하여 입체감 있는 시료의 표면상을 얻기위한 장치이다. 또한 SEM의 초점심도가 크기
기술이 진보함에 따라 마이크론 크기나 그 이하 크기의 시료에 대한 관찰과 분석을 통한 정확한 이해가 필요하게 되었다.ㅏ 이러한 미세 구조에 대한 관심으로 인해 단순한 확대경에서 광학현미경에 이르는 현미경의 발전이 이루어졌다.그러나 아무리 성능이 우수한 렌즈를 사용한 광학현미경이라 하더라도 광원으로 사용되는 빛의 파장이 가지는 한계성으로 인해 미세 구조에 대해서는 관찰이 불가능하다. 이러한 한계를 극복하기위해 전자선을 광원으로 사용하는 전자현미경이 개발되었다. 이러한 주사전자현미경(Scannning Electron Microscope : SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기이다. 주사전자현미경은 가느다란 전자빔을 시료표면에 주사시켜 2차 전자를 발생하게 하여 입체감 있는 시료의 표면상을 얻기위한 장치이다. 또한 SEM의 초점심도가 크기
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