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고진공을 걸 사용됩니다. 펌프의 용량을 증대시키기 위해 이온 펌프를 흡착펌프나 게터펌프와 같이 연결하여 사용하기도 합니다.
이온펌프 건극의 구조 이온펌프에 전극이 장착된 모습
■ Reference
<진공물리 및 진공기술> 안일신
<http:
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프는 오일의 산화 등을 방지하고, 배기 효율을 높이기 위하여 로터리 펌프를 이용하여 보조 배기를 해주면서 사용하게 되는데, 이때 로터리 펌프의 용량은 오일확산펌프의 흡입구의 압력과 배출구의 압력, 그리고 오일 확산 펌프의 용량에 의
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고진공 과정
1 Diffusion 스위치 켠다. 히터를 5~10분정도 가열
2 히터가 가열된 후 High vacuum 밸브를 천천히 연다.
3 이온화게이지를 켜서 Degas를 5분정도 켜둔다. Filament를 켜서 진공도를 측정
4 1~2시간 정도 진공시켜 10Torr 정도 만든다.
◈증착 과정
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증발법
열 증착법은 간단한 공정을 통하여 박막을 얻을 수 있다는 장점이 있다. 보통의 경우 10-6Torr정도의 고진공 하에서 고체의 증발원을 가열하여 기화시켜 기판 위에 기화한 원자 또는 분자를 축적하여 박막을 형성하는 방법이다.
이는
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고진공에 사용하면 좋다.
▶ Penning 게이지
Penning 게이지의 구조는 ring 형태의 anode에 cathode가 아래위에 하나씩 있다. 그리고 자기장과 전기장이 평행인 특징이 있다. 보통 수 kv의 전기장으로 방전을 일으켜 이온화가 일어나고 이때 생긴 전자
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