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성장시키려는 연구가 진행되고 있으며, 유용한 결정성장법으로의 그 위치를
차지하고 있다.
7. 참고 문헌
(1) Floating Zone 법에 의한 Rutile(TiO2) 단결정 육성/신재혁강승민오근호/한양대학교 무기재료공학과
(2) 부유대용융법에 의한 고품질 Rutile(
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성장학, 다성출판사 // 김정남 외 8인 공역
5. Introduction to Microelectronic Fabrication, PRENTICE HALL // R. Jaeger
6. EFG 법에 의한 Sapphire Ribbon 단결정 성장/박신서· 류두형· 정재우· 최종건(J.K. Choi) · 오근호(K.K. Orr) · 손선기(S.K. Sohn) · 변영재(Y.J. Byeon) ·
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1.단결정 성장 공정
단결정
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● 단결정 정의: 원자가 규칙적으로 배열하여 하나의 결정을 이룬 것
≪ 그 림 ≫ ≪ 그 림 ≫
단결정 다결정
● 사용이유
1. 전
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인상법
단결정(seed crystal)을 접촉시킨 후 서서히 위로 올리면 seed crystal의 결정
방향과 동일한 방향의 실리콘 단결정이 따라 올라오면서 결정 성장이 이루어지는 방법 .
1. 고주파 or 저항 가열체로부터 석영 or 흑연도가니 가열
2. 도가니
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단결정성장
2. 규소봉절단
3. 웨이퍼 표면연마
4. 회로설계
5. 마스크(Mask)제작
6. 산화(Oxidation)공정
7. 감광액 도포(Photo Resist Coating)
8. 노광(Exposure)공정
9. 현상(Development)공정
10. 식각(Etching)공정
11. 이온주입(Ion Implanta
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반도체소자의 제조공정
반도체소자의 제조공정은 제조하고자 하는 반도체소자에 따라 조금씩 공정이 추가될 것이나, 아래의 18단계의 공통과정에 의하여 제조된다.
1. 단결정성장
고순도로 정제된 실리콘 용융액에 시드(Seed) 결정을 접
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아지거나 사라지게 된다. 따라서 크고 작은 교란으로 인해 뚜렷한 간섭무늬가 전체적으로 나타나게 된다.
비선형(非線形) 파동에 대해서는 연구하기가 힘들지만 여러 응용분야에서 매우 중요하다. 이들은 대개 매우 복잡한 구조와 성질을 보
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단결정성장용 마그네트Cu을 사용하는 전기기계에 사용하는 모든 기계류(모터, 한류기, 발전기 등)
참고사이트
http://www.kriss.re.kr/kriss99/superconductor/index.htm
고온초전도 기술 개발 사업단
http://www.daesungcable.com/index.asp
넥상스코리아
http://kr.encycl.yah
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단결정성장
2). 규소봉절단
3). 웨이퍼 표면연마
4). 회로설계
5). 마스크(Mask)제작
6). 산화(Oxidation)공정
7). 감광액 도포(Photo Resist Coating)
8). 노광(Exposure)공정
9). 현상(Development)공정
10). 식각(Etching)공정
11). 이온주입(Ion Implantation)공
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성장시키는 방법에는 위에서 언급한 것과 같이 Seed법과 Non-seed법이 있다. Spinel 단결정 육성 시 육성속도에 관련된 인자는 tapping과 지지봉의 하강 속도이며, spinel 육성 시 고온에서 MgO의 휘발성을 감안할 때, 육성중 지지봉의 하강속도를 일정
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