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스퍼터링 장치, 초음파 세척기, 저항기, 시편세척도구 (비이커, 집게, 아세톤, 에탄올, 증류수 등), 페트리 디시, 진공테이프 등
4. 실험 과정
①글라스세척용 세제를 이용하여 FTO물질이 한면에 코팅된 유리기판의 양쪽면을 세척한다. ②세척된
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되어 있다.
이 레포트를 하면서 평소에 관심가지지 않았던 PDP에 대하여 알게 되고 흥미를 갖게 되어 의미있었다. 앞으로 PDP뿐 만 아니라 LCD나 OLED같은 다름 상품도 관심을 기울여야겠다. AC PDP의 구조
- 상판
- 하판
AC PDP의 발광 과정
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가진 상태에서 흡착되어 박막을 형성하게 된다.
이렇게 큰 에너지를 가진 충돌입자는 표면이동이 비교적 용이해 매 우 치밀하고 물성이 우수한 박막을 형성하게 된다.
④스퍼터링
플라즈마를 설명할 때, 음극전압강하로 인해 양이온은 전기
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스퍼터링을 이용한 건식 세정 방법은 오염 물질 외에 웨이퍼나 그 위에 덮혀있는 박막 자체도 함께 떨어져 나가는 것과, 일차적으로 이탈된 오염 물질이 다시 표면에 퇴적될 수 있는 단점이 있다.
표
내용
Fig 2. 물리 건식세정 방법
Fig 3. 화학
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스퍼터링을 이용한 투명전극 제조 및 그리드 형성 >
2014-10-14
1.1 스퍼터링 (Sputtering)
1.1-1 플라즈마.
플라즈마는 물질의 제 4상태로 간주되며 부분적으로 이온화된 기체를 의미한다. 그 정의는 ‘partially ionized gas consisting of equal numbers of positive
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