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박막 제작
●실험 기구
알루미늄, TiO2, Mo보트, 슬라이드 글라스, 면도날, Bell jar, Electron beam, Rotary pump, Oil diffusion pump, 가이슬러 게이지, 이온화 게이지
●실험 방법
1)회전 펌프와 확산 펌프 각각의 냉각수 관을 연결한다.
2)진공 장치의 주 스위
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. 우리 조도 증착 시킬시 증착 전류의 미세한 조절이 어려워 기판을 태워먹기도 하였다. 증착 시 미세한 조절이 필요하고 실험 전 각 기기의 사용 방법을 충분히 숙지하여 실험에 임하면 좋은 결과가 있을 거라 생각된다.
7.박막의 응용
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박막에 속한다.
◈열증발 증착법
도선에 흐르는 전기의 순수 저항을 이용하여 가열하는 방법으로 텅스텐, 티타늄 등을 이용하거나 접점저항을 이용하여 가열함.
①증발 과정시 증발체는 보통 높은 진공 상태에서 열 이 가해짐(P<10Torr)
②압
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논문 활용) Ⅰ. 서 론
1. 실험하는 목적
Ⅱ. 본 론
1. 이론적 배경
1> 플라즈마란?
2> 진공이란?
3> Sputter
4> 왜 저항 측정을 하는가?
2. 실험 방법
3. 실험 결과
Ⅲ. 고 찰
Ⅳ. 참 고
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진공이란?
대기압보다 낮은 기체압력의 특정 공간상태
박막 제작에 필요한 진공은 10-2 Pa대 또는
그 이하의 압력
진공의 필요성
1. 깨끗한 환경 제공
2. 적절한 환경 제공
저진공 (Low vacuum)
1기압 ~ 10-3 Torr, Rough Vacuum
기체 상태의 분자 수
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박막 태양전지 기술현황”, 세리미스트, 제 8권, 제 5호, 2005년 10월.
14. 권세한, 이정철, 강기환, 김석기, 윤경훈, 송진수, 이두열, 안병태, “ Na 확산과 Ga 첨가에 따른 동시진공증발법으로 제조된 CIGS 박막
과 Cds/CIGS 태양전지의 특성, 태양에너
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진공기술의 박막 제조기술을 활용하기 위한 Win-Win 전략의 일환으로 제휴를 맺었다. Pioneer사도 자사의 양산경험과 SEL사의 저온poly-TFT을 활용하기 위하여 제휴관계를 맺고 있으며, 소니사는 도요타사와 제휴하였다. 또한 한국의 삼성SDI는 NEC의
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진공도는 torr 이하로, 에 대한 유량비를 각각 0%, 1%, 2%, 4% 그리고 6%로 변화시켰다. 타겟 표면의 불순물을 제거하기 위하여 Ar가스 하에 5분간 pre-sputtering 한 후 시료의 두께가 대략 50nm 5nm가 되도록 증착하였다.
1-2. 전기적 특성 평가 (I-V)
NiO 박막
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진공, 가스 액정으로 형성되어 있으며, OLED는 기판상에 층 고체 박막을 형성하여 (박막,경량, 충격저항력, 유연성 제공) 있다.
OLED와 다른 구조를 가지고 있는 CRT, PDP 그리고 전계를 이용한 FED는 높은 전압을 이용하여 화소를 나타낸다. LCD panel
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진공도를 유지하는 것이다. 또한 대면적에서 봉지 기술도 관건이 되고 있다. 따라서 CNT-BLU는 가능성은 있지만 여전히 형광체를 사용하고 있다는 점 등에서 타 기술에 비해 큰 강점은 없는 상황으로 기술 개선의 추세를 살피는 것이 좋다.
이렇
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진공 장비의 원리를, 반도체공정 수업을 통해 8대 공정에 대한 전문지식을 익혔습니다. 3학년부터는 학부연구생으로 OO대와의 협력 프로젝트에 참여하며 실무 역량을 기르고 있습니다. 저는 학부연구생의 리더로서 기판에 금속 박막을 증착하
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박막 균일도 테스트 중 불량이 반복되던 문제에 대해, 초기 진공챔버 설정값이 과도하게 보수적이라는 점을 지적했고, 이를 수정한 테스트를 제안해 불량률을 절반 이상 줄인 경험이 있습니다. 이후 이 수치는 표준조건으로 반영되었습니다.
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