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Ion Plating 의 개요
※ ION-PLATING의 특징
※ Ion Plating 의 장점
◎ Ion Plating 의 원리
※ DC-diode 아르곤 방전
※ 아르곤 방전에서 음극에서의 충돌
※ 실제 ion plating 방전
◎ ION-PLATING 장비 및 공정
※ 장비
※ 공정
◎ 개발 방향
※ 상업적
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Ion Beam System)
1. 집속 이온빔 장치의 구조
2. 각 부분별 작동원리
3. 집속 이온빔 장치의 응용
SEM(Scanning Electron Microscope)
1. 주사전자현미경(SEM)이란?
2. SEM의 작동 원리
3. SEM의 구성
MgO 보호막
1. MgO 보호막의 조건 및 역할
2. MgO
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ion beam 증착
Me
\"
금속
0.17-167
화학증착법
(CVD)
회학증착
Me, MexBy, MexCy, MexNy,MexOy,MexSy,
기타 합금
1000-2273
금소염화물
금속수소화물
유기금속화합물
0.33-83.3
plazma CVD
“
573-1473
“
“
물리증착확산법의 종류
종 류
진공증착
이온 플레이팅
스퍼터링
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색을띠며 뛰어난 내마모와 경도를 나타내어 주로 금형,공구류에 적용 되어지고 있다 1.개요
2.DC-diode 아르곤방전 (원리)
3.아르곤방전시 음극에서의 충돌
4.실제 ion-plating방전
5.실제적인 고려사항 및 상세한 계의 내용들
6.응용
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이온화 또는 여기시킴으로써 이온화된 원자 또는 분 자가 부의 전압이 걸린 기판에 가속되어 퇴적됨
㉡ 특징
낮은 처리온도에서 양질의 피막이 얻어짐
피처리재의 종류에 관계없이 화합물 피복이 가능
여러 가지 금속 및 화합물의 피막을
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정의
2. CVD (화학 기상 증착법, Chemical Vapor Deposition)
- 원 리 -
- 특 징 -
1) 장 점
2) 단 점
2. PVD(물리증착법. Physical Vapor Deposition)
1) PVD(Physical Vapor Deposition)
1) 이온 플레이팅(lon Plating)
2) 스퍼터링(Spputtering)
o 정리 및 비교
3. 활용분야
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이온플레이팅(ion plating)
(2) 일반적인 스퍼터링, magnetron 스퍼터링 및 UBM(unbalanced magnetron) 스퍼터링에 대해서 설명 및 비교하여라.
(3) 박막의 특성평가 방법들의 종류와 그 원리 및 얻게 되는 정보에 대해 간단히 정리하여라.
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미치는 영향
(3) 식물에 미치는 영향
(4) 유적 및 건축물 등에 미치는 영향
(5) 산성안개의 영향
(6) 인체에 미치는 영향
6. 문제점
7. 대책
8. 우리나라의 산성비의 특징
9. 산성비, 지구온난화, 오존층 파괴는 서로 연관되어 있다.
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: (재미있고 알기 쉬운)화학실험사전, 일진사
Raymond Chang(2004) : Chang 일반화학, 자유아카데미 Ⅰ. 이온결합의 특징
Ⅱ. 이온결합의 의미
Ⅲ. 이온결합의 격자에너지
Ⅳ. 이온결합과 공유결합
Ⅴ. 이온결합과 금속결합
참고문헌
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특징
2. 종류
3. 리튬이온전지에 사용되는 각 소재의 종류 및 특징
4. 리튬이온전지에 사용될때 필요한 요구 물성
5. 요구 물성과 물질의 구조와 성질과의 관계에서 도출된 차기 소재 논의 (방향성) *중요*
6. 다른 Application 적용 및 요구 성능
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