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- 두양사
실리콘직적회로공정기술
반도체공정개론 - richard C.jaegr저 교보문고
엘립소미트리
반도체공정 및 장치기술 - 이형욱
VLSI FABRICATION PRINCIPLES ◆ Ellipsometer (타원평광해석)
◆ Ellipsometer의 원리
◆ Ellipsometer의 용도
◆ 출 처
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판단은 사용자의 능력에 달려있다.
◆ 출 처
박막공학 - 두양사
초고집적 공정기술 - 두양사
실리콘직적회로공정기술
반도체공정개론 - richard C.jaegr저 교보문고
엘립소미트리
반도체공정 및 장치기술 - 이형욱
VLSI FABRICATION PRINCIPLES
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1.1. NBT 융합기술의 정의
1.2. NBT 융합기술의 특성
1.3. NBT 융합기술의 분류 및 유형
2. 나노바이오칩(Nanobiochip)
2.1. 나노바이오칩의 제작기술
2.2. 원자력간현미경(AFM)에 의한 유전자의 해석
2.3. 나노바이오칩의 유형
3. 참고문헌
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해석이 가능한 종합 소프트웨어이지만 모델링 기능이 훨씬 뛰어나다. 전문 FEM해석 Tool인 ANSYS와 연계하여 I-DEAS에서는 모델링만을 수행한 후 ANSYS에서 해석을 수행하는데 많이 이용되고 있다. ANSYS 자체 내에서도 모델링이 가능하지만 전문 모
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엘립소미터(ellipsometer) 및 알파스텝(α-step) 드으이 장비로 측정할 수 있다. 산화 막은 두께에 대한 균일성 및 재현성이 양호하여야 하며 파괴전압과 결함상태, 산화 막 내의 다양한 이온밀도(charge density) 등이 조사되어야 한다.
산화 막의 성장
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